发明公开
CN113168088A 隔膜清洁设备
审中-实审
- 专利标题： 隔膜清洁设备
-
申请号： CN201980079386.0申请日： 2019-11-22
-
公开(公告)号： CN113168088A公开(公告)日： 2021-07-23
- 发明人: A·尼基帕罗夫 , D·库日洛维奇 , F·斯布莱萨伊 , M·A·范德柯克霍夫 , T·W·范德伍德 , 威廉·琼·范德赞德 , J·范杜凡波第 , D·F·弗莱斯
- 申请人： ASML荷兰有限公司
- 申请人地址： 荷兰维德霍温
- 专利权人： ASML荷兰有限公司
- 当前专利权人： ASML荷兰有限公司
- 当前专利权人地址： 荷兰维德霍温
- 代理机构： 中科专利商标代理有限责任公司
- 代理商 王益
- 优先权： 18208555.5 20181127 EP 19173742.8 20190510 EP 19180219.8 20190614 EP
- 国际申请： PCT/EP2019/082184 2019.11.22
- 国际公布： WO2020/109152 EN 2020.06.04
- 进入国家日期： 2021-05-27
- 主分类号： G03F1/62
- IPC分类号： G03F1/62 ; G03F1/82
摘要：
一种用于从隔膜移除粒子的隔膜清洁设备，包括：隔膜支撑件；以及电场生成机构。所述隔膜支撑件用于支撑所述隔膜。所述电场生成机构用于当所述隔膜由所述隔膜支撑件支撑时在所述隔膜附近生成电场。所述电场生成机构可以包括：一个或更多个集电极；和用于跨越由所述隔膜支撑件支撑的所述隔膜和所述一个或更多个集电极中的一个或每个集电极施加电压的机构。
