发明公开

高频加热装置
摘要:
本发明的一个方式所涉及的高频加热装置具备加热室、电极、高频电源、至少一个匹配元件以及控制部。加热室收容加热对象物。高频电源对电极施加高频电压。匹配器包含具有可变匹配常数的至少一个匹配元件。控制部基于至少一个匹配元件的匹配常数的时间变化,使高频电源停止而结束加热。根据本方式,能够高效地对加热对象物进行加热。
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