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差压式流量计
Abstract:
本发明的差压式流量计降低流量测量误差。差压式流量计具备:配管(1);配置在配管(1)内的层流元件(2);测量层流元件(2)上游侧的流体的绝对压力(P1)的绝对压力传感器(3);测量层流元件(2)下游侧的流体的绝对压力(P2)的绝对压力传感器;测量绝对压力传感器(3、4)的周围温度(T)的温度传感器(5);基于温度(T)校正绝对压力传感器(3)的输出信号并换算成绝对压力(P1)、并且基于温度(T)校正绝对压力传感器(4)的输出信号并换算成绝对压力(P2)的压力计算部(8);以及基于由压力计算部(8)计算出的绝对压力(P1、P2)计算流体的流量的流量计算部(11)。承受绝对压力(P1)的绝对压力传感器(3)的膜片、承受绝对压力(P2)的绝对压力传感器(4)的膜片和温度传感器(5)集成在一个传感器芯片上。
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