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公开(公告)号：CN113203514A
公开(公告)日：2021-08-03
申请号：CN202110116905.5
申请日：2021-01-28
Applicant: 阿自倍尔株式会社
Abstract: 本发明提供一种压力传感器，能够在小的压力范围内以良好的灵敏度进行测定，并且能够在更宽的压力范围内高精度地进行测定。压力传感器具备膜片层(101)和形成于膜片层(101)的受压区域(102)。另外，该压力传感器具备第一压电应变元件(103a)、第二压电应变元件(103b)、第三压电应变元件(103c)、第四压电应变元件(103d)。另外，该压力传感器具备第一磁应变元件(104a)、第二磁应变元件(104b)、第三磁应变元件(104c)、第四磁应变元件(104d)。
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公开(公告)号：CN105865669A
公开(公告)日：2016-08-17
申请号：CN201610055943.3
申请日：2016-01-27
Applicant: 阿自倍尔株式会社
Inventor： 结城兴仁
CPC classification number: G01L1/00 , B32B17/06 , B32B37/18 , B32B2037/0092 , B32B2315/08 , B32B2457/00 , G01L9/0048 , G01L1/16 , C03C27/00 , G01L9/08
Abstract: 一种三层基板的接合方法，能够在硅-玻璃-硅等夹着玻璃基板的三层结构中，没有可移动离子的析出地、分别简便地进行阳极接合。使2次阳极接合工序中的传感器芯片(1)与玻璃基板(2)的阳极接合条件比1次阳极接合工序中的硅管(3)与玻璃基板(2)的阳极接合条件要弱，从而在1次阳极接合工序中被拉到玻璃基板(2)的阴极侧的玻璃基板(2)中的可移动离子在2次阳极接合工序中到达玻璃基板(2)与硅管(3)的接合面之前，使2次阳极接合工序结束。
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公开(公告)号：CN118688690A
公开(公告)日：2024-09-24
申请号：CN202410219333.7
申请日：2024-02-28
Applicant: 阿自倍尔株式会社
Abstract: 本发明涉及一种利用蛇行形状的AMR(各向异性磁阻)元件检测角度的AMR角度传感器的设计方法、AMR角度传感器的生产方法以及AMR角度传感器。在抑制角度检测误差的同时，使AMR元件变厚和/或使AMR元件的线宽变细。本发明的AMR角度传感器的设计方法是利用蛇行形状的AMR(各向异性磁阻)元件检测角度的AMR角度传感器的设计方法，具有在将所述AMR角度传感器的角度检测最大误差为期望值的所述AMR角度传感器的各向异性磁场强度的值作为上限值的范围内，确定所述AMR元件的膜厚和线宽的确定步骤。
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公开(公告)号：CN113203514B
公开(公告)日：2022-11-08
申请号：CN202110116905.5
申请日：2021-01-28
Applicant: 阿自倍尔株式会社
Abstract: 本发明提供一种压力传感器，能够在小的压力范围内以良好的灵敏度进行测定，并且能够在更宽的压力范围内高精度地进行测定。压力传感器具备膜片层(101)和形成于膜片层(101)的受压区域(102)。另外，该压力传感器具备第一压电应变元件(103a)、第二压电应变元件(103b)、第三压电应变元件(103c)、第四压电应变元件(103d)。另外，该压力传感器具备第一磁应变元件(104a)、第二磁应变元件(104b)、第三磁应变元件(104c)、第四磁应变元件(104d)。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114185367A
公开(公告)日：2022-03-15
申请号：CN202110988018.7
申请日：2021-08-26
Applicant: 阿自倍尔株式会社
Inventor： 结城兴仁
IPC: G05D7/06
Abstract: 本发明提供一种质量流量控制器，其能够精度良好地测量流量，能够进行高精度的流量控制。该质量流量控制器具备：配管(1)，其使流体流通；层流元件(2)，其使上游侧的流体和下游侧的流体产生差压；差压传感器(5)，其测量层流元件(2)的上游侧的流体的绝对压力P1与下游侧的流体的绝对压力P2的差压ΔP；绝对压力传感器(6)，其测量绝对压力P2；压力控制部(10)，其以绝对压力P2成为恒定的方式控制阀门(3)的开度；流量计算部(11)，其基于差压ΔP和绝对压力P2计算流体的流量；以及流量控制部(12)，其以由流量计算部(11)计算出的流量的值和流量设定值一致的方式控制阀门(4)的开度。
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公开(公告)号：CN113945318A
公开(公告)日：2022-01-18
申请号：CN202110746466.6
申请日：2021-07-01
Applicant: 阿自倍尔株式会社
IPC: G01L19/00
Abstract: 本发明课题是提供一种不易受到安装的影响且能够小型化的压力传感器。本发明的压力传感器具备：基座部(14)，其隔着密封部件(11)重叠安装在传感器用安装座(5)上，该传感器用安装座(5)具有传递被测定流体(3)的压力的导压口(6)；压力室部(17)，其经由筒状的连接部(16)支承于基座部(14)，包含受压隔膜(19)成为壁的一部分的压力室(20)的压力室部17；以及导压部(22)，其一端与压力室部(17)连接，另一端与压力检测用的传感器元件(13)连接，通过压力传递用的液体(21)从受压隔膜(19)向传感器元件(13)传递压力，连接部(16)作为内部充满被测定流体(3)或压力传递用的液体(21)而传递压力的导压路径(24)发挥功能，连接部(16)的外径比受压隔膜的外径小。
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公开(公告)号：CN113175962A
公开(公告)日：2021-07-27
申请号：CN202110067631.5
申请日：2021-01-19
Applicant: 阿自倍尔株式会社
IPC: G01F1/34
Abstract: 本发明的差压式流量计降低流量测量误差。差压式流量计具备：配管(1)；配置在配管(1)内的层流元件(2)；测量层流元件(2)上游侧的流体的绝对压力(P1)的绝对压力传感器(3)；测量层流元件(2)下游侧的流体的绝对压力(P2)的绝对压力传感器；测量绝对压力传感器(3、4)的周围温度(T)的温度传感器(5)；基于温度(T)校正绝对压力传感器(3)的输出信号并换算成绝对压力(P1)、并且基于温度(T)校正绝对压力传感器(4)的输出信号并换算成绝对压力(P2)的压力计算部(8)；以及基于由压力计算部(8)计算出的绝对压力(P1、P2)计算流体的流量的流量计算部(11)。承受绝对压力(P1)的绝对压力传感器(3)的膜片、承受绝对压力(P2)的绝对压力传感器(4)的膜片和温度传感器(5)集成在一个传感器芯片上。
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公开(公告)号：CN113155207A
公开(公告)日：2021-07-23
申请号：CN202110067081.7
申请日：2021-01-19
Applicant: 阿自倍尔株式会社
Inventor： 结城兴仁
IPC: G01F1/34
Abstract: 本发明提供一种能够降低流量测量误差的差压式流量计。其具备配管(1)、配置于配管1内的层流元件(2)、测量层流元件(2)上游侧的流体的绝对压力P1和下游侧的流体的绝对压力P2的差压ΔP的差压传感器(3)、测量绝对压力P2的绝对压力传感器(4)、基于由差压传感器(3)测量得的差压ΔP和由绝对压力传感器(4)测量得的绝对压力P2计算流体的流量的流量计算部(8)。
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公开(公告)号：CN105865669B
公开(公告)日：2018-11-09
申请号：CN201610055943.3
申请日：2016-01-27
Applicant: 阿自倍尔株式会社
Inventor： 结城兴仁
Abstract: 一种三层基板的接合方法，能够在硅‑玻璃‑硅等夹着玻璃基板的三层结构中，没有可移动离子的析出地、分别简便地进行阳极接合。使2次阳极接合工序中的传感器芯片(1)与玻璃基板(2)的阳极接合条件比1次阳极接合工序中的硅管(3)与玻璃基板(2)的阳极接合条件要弱，从而在1次阳极接合工序中被拉到玻璃基板(2)的阴极侧的玻璃基板(2)中的可移动离子在2次阳极接合工序中到达玻璃基板(2)与硅管(3)的接合面之前，使2次阳极接合工序结束。
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