发明公开
CN113189100A 一种视觉检测装置
无效 - 驳回
- 专利标题: 一种视觉检测装置
-
申请号: CN202110456027.1申请日: 2021-04-26
-
公开(公告)号: CN113189100A公开(公告)日: 2021-07-30
- 发明人: 罗建华
- 申请人: 深圳市华拓半导体技术有限公司
- 申请人地址: 广东省深圳市光明区光明街道碧眼社区华强创意公园5栋B座0402
- 专利权人: 深圳市华拓半导体技术有限公司
- 当前专利权人: 深圳市华拓半导体技术有限公司
- 当前专利权人地址: 广东省深圳市光明区光明街道碧眼社区华强创意公园5栋B座0402
- 代理机构: 北京维正专利代理有限公司
- 代理商 黄勇; 任志龙
- 主分类号: G01N21/84
- IPC分类号: G01N21/84 ; G01N21/01 ; G01N21/13
摘要:
本申请涉及半导体芯片检测设备的领域,尤其是涉及一种视觉检测装置,其包括机台,所述机台设有定点输送模块、视觉检测模块、上料模块和下料模块,所述定点输送模块连接于所述机台的一端,所述视觉检测模块的固定端连接于所述机台背离所述定点输送模块的一端,所述视觉检测模块的检测端位于所述定点输送模块的上方;所述上料模块的出料端拼接于所述定点输送模块的上料端,所述下料模块的进料端拼接于所述定点输送模块的下料端。本申请具有高效检测半导体芯片外观的效果。