发明公开
CN113228319A 将表面层转移到腔的方法
审中-实审
- 专利标题: 将表面层转移到腔的方法
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申请号: CN201980084414.8申请日: 2019-12-12
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公开(公告)号: CN113228319A公开(公告)日: 2021-08-06
- 发明人: 布鲁诺·吉瑟兰
- 申请人: 索泰克公司
- 申请人地址: 法国伯尔宁
- 专利权人: 索泰克公司
- 当前专利权人: 索泰克公司
- 当前专利权人地址: 法国伯尔宁
- 代理机构: 北京三友知识产权代理有限公司
- 代理商 游雷; 王小东
- 优先权: 1873597 20181220 FR
- 国际申请: PCT/FR2019/053038 2019.12.12
- 国际公布: WO2020/128244 FR 2020.06.25
- 进入国家日期: 2021-06-18
- 主分类号: H01L41/312
- IPC分类号: H01L41/312
摘要:
本发明涉及一种将表面层(10)转移到包含腔(23)的载体基底(20)的方法,所述方法包括:‑提供供体基底,‑提供具有第一面并且包括腔(23)的载体基底(20),每个腔在所述第一面处开口并且具有底部和周壁,‑在所述腔(23)的至少一者中创建至少一个临时柱状物(30),所述柱状物(30)具有与载体a基底(20)的第一面共面的上表面,‑在所述载体基底的所述第一面处接合所述供体基底和所述载体基底(20),‑减薄所述供体基底,以形成所述表面层(10),‑移除所述至少一个临时柱状物(30)。
IPC分类: