Invention Grant
- Patent Title: MEMS驱动器件及其形成方法
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Application No.: CN202110485548.XApplication Date: 2021-04-30
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Publication No.: CN113233411BPublication Date: 2024-07-05
- Inventor: 马玉莎 , 张兆林
- Applicant: 绍兴中芯集成电路制造股份有限公司
- Applicant Address: 浙江省绍兴市皋埠镇临江路518号
- Assignee: 绍兴中芯集成电路制造股份有限公司
- Current Assignee: 绍兴中芯集成电路制造股份有限公司
- Current Assignee Address: 浙江省绍兴市皋埠镇临江路518号
- Agency: 上海思微知识产权代理事务所
- Agent 周耀君
- Main IPC: B81B7/02
- IPC: B81B7/02 ; B81B7/00 ; B81C1/00
Abstract:
本发明提供了一种MEMS驱动器件及其形成方法。通过在第一衬底或第二衬底上设置固定件，以用于在刻蚀形成可动梳齿结构的过程中，固定微机械结构进而限制可动梳齿结构中的各个梳齿发生扭转，改善梳齿侧壁受到刻蚀损伤的问题。并且，在第一衬底上对应于微机械结构还设置有止挡件，该止挡件可用于限制微机械结构的最大扭转角度，以防止在外力冲击下微机械结构发生断裂的问题。
Public/Granted literature
- CN113233411A MEMS驱动器件及其形成方法 Public/Granted day:2021-08-10
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