- 专利标题: 一种调节组分平衡的碳化硅晶体生长方法及设备
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申请号: CN202110695211.1申请日: 2021-06-22
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公开(公告)号: CN113249792B公开(公告)日: 2021-09-28
- 发明人: 陈建明 , 姜树炎 , 周元辉 , 刘春艳 , 杨洪雨
- 申请人: 苏州优晶光电科技有限公司
- 申请人地址: 江苏省苏州市昆山市昆山开发区杜鹃路555号A6#厂房
- 专利权人: 苏州优晶光电科技有限公司
- 当前专利权人: 苏州优晶光电科技有限公司
- 当前专利权人地址: 江苏省苏州市昆山市昆山开发区杜鹃路555号A6#厂房
- 代理机构: 北京沁优知识产权代理有限公司
- 代理商 胡妍
- 主分类号: C30B29/36
- IPC分类号: C30B29/36 ; C30B23/00
摘要:
本发明提供一种调节组分平衡的碳化硅晶体生长方法及设备,其设备包括包括腔体、固定在腔体内的石墨坩埚和加热器、生长槽,所述石墨坩埚内水平设置有多孔隔板,多孔隔板将石墨坩埚分为晶体生长腔和辅助腔,晶体生长腔内盛装有碳化硅原料,辅助腔内通过升降组件活动连接有辅助坩埚,辅助坩埚内部盛装有富硅原料;所述加热器对晶体生长腔均匀加热。本发明的设备包括石墨坩埚以及利用升降组件调节的辅助坩埚,随着晶体不断生长,利用升降组件对辅助坩埚的高度进行调节,使其在晶体生长过程中向碳化硅原料中补充硅元素,调节碳化硅原料中碳组分和硅组分的平衡,避免碳化硅晶体发生螺旋错位、层错、微管等缺陷,同时提高碳化硅原料的利用率。
公开/授权文献
- CN113249792A 一种调节组分平衡的碳化硅晶体生长方法及设备 公开/授权日:2021-08-13
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