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压力传感器
Abstract:
本发明提供一种压力传感器,其具有高耐压性能,并且通过抑制相对于压力的滞后而使测定误差小,进而灵敏度高、生产率也优异。该压力传感器(1A)具备:隔膜部(10A),其具有承受被测定流体的压力的第1主面(第3下表面(13b)以及位于该第1主面的相反侧的第2主面(第1上表面(11a);壳体(20);以及传感部(30),其将所述隔膜的变形作为电信号输出,所述隔膜部的至少一部分由通过层叠多个薄板构件(11A、12A、13A)而形成的多层结构构成,这些多个薄板构件以如下方式构成:在所述被测定流体的压力被施加于所述第1主面的受压状态下,至少一部分相互压接且各自独立地变形。
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