发明公开
摘要:
本发明提供一种大挤压膜阻尼扭转式微机械执行器,包括基座、上极板、下极板和两个支撑件,两个支撑件沿上极板的宽度方向布设在上极板的两侧;每个支撑子件包括固定支撑部和扭转支撑梁,固定支撑部与基座固定连接,扭转支撑梁的一端与固定支撑部连接,扭转支撑梁的另一端与上极板连接;上极板平行于基座,上极板能够绕两个扭转支撑梁构成的扭转轴线旋转;下极板固定在基座的上表面,下极板位于上极板的下方,下极板与上极板之间具有间隙;上极板的长宽比为4~8。本发明大挤压膜阻尼扭转式微机械执行器,具有大挤压膜阻尼,启动时瞬态超调量较小且收敛较快,停止时振幅衰减较快。