本申请公开了一种应用于加速器的高精度幅相检测的功率源控制系统和方法，涉及固态功率源的控制领域。功率源控制系统包括：第一主机、第二主机、信号源的产生与控制系统、功率放大与增益调节控制系统、幅值控制系统和功率使能系统；所述第一主机与所述第二主机、所述信号源的产生与控制系统、所述功率放大与增益调节控制系统、幅值控制系统分别连接，所述第二主机与所述功率使能系统连接。功率源控制系统可以在功率的输出过程中对第一功率信号进行调整，有利于功率源的可靠运行，提高功率源的稳定性，进而，满足加速器所需的高精度幅相检测需求，提高加速器的工作稳定性。