一种基于贝塞尔光束的石英玻璃隐形切割方法
摘要:
一种基于贝塞尔光束的石英玻璃隐形切割方法,通过对皮秒高斯激光进行空间整形获得贝塞尔光束,通过高重频皮秒激光器内置的同步输出功能调整脉冲打孔间距、高重频皮秒激光器的脉冲串模式调节子脉冲个数,三维工作台调整贝塞尔光束在石英玻璃片样品内部的聚焦位置,皮秒激光贝塞尔光束在石英玻璃片样品表面切割路径形成微孔阵列,然后通过施加外应力实现石英玻璃片样品高质高效隐形切割;本发明能够对500μm厚石英玻璃材料实现单次扫描高质量隐形切割,切割断面粗糙度小于0.8μm,几乎无崩边;操作简单,实现了石英玻璃因隐形切割加工效率和加工质量的同步提升。
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