- 专利标题: 一种基于贝塞尔光束的石英玻璃隐形切割方法
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申请号: CN202110520508.4申请日: 2021-05-13
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公开(公告)号: CN113333965A公开(公告)日: 2021-09-03
- 发明人: 王文君 , 廖恺 , 梅雪松 , 崔健磊 , 刘斌 , 樊盼盼 , 运侠伦
- 申请人: 西安交通大学
- 申请人地址: 陕西省西安市碑林区咸宁西路28号
- 专利权人: 西安交通大学
- 当前专利权人: 西安交通大学
- 当前专利权人地址: 陕西省西安市碑林区咸宁西路28号
- 代理机构: 西安智大知识产权代理事务所
- 代理商 贺建斌
- 主分类号: B23K26/38
- IPC分类号: B23K26/38 ; B23K26/402 ; B23K26/0622 ; B23K26/70
摘要:
一种基于贝塞尔光束的石英玻璃隐形切割方法,通过对皮秒高斯激光进行空间整形获得贝塞尔光束,通过高重频皮秒激光器内置的同步输出功能调整脉冲打孔间距、高重频皮秒激光器的脉冲串模式调节子脉冲个数,三维工作台调整贝塞尔光束在石英玻璃片样品内部的聚焦位置,皮秒激光贝塞尔光束在石英玻璃片样品表面切割路径形成微孔阵列,然后通过施加外应力实现石英玻璃片样品高质高效隐形切割;本发明能够对500μm厚石英玻璃材料实现单次扫描高质量隐形切割,切割断面粗糙度小于0.8μm,几乎无崩边;操作简单,实现了石英玻璃因隐形切割加工效率和加工质量的同步提升。
公开/授权文献
- CN113333965B 一种基于贝塞尔光束的石英玻璃隐形切割方法 公开/授权日:2022-10-28
IPC分类: