一种激光数控机床加工无锥度群孔的装置和方法

    公开(公告)号:CN116652416A

    公开(公告)日:2023-08-29

    申请号:CN202310657318.6

    申请日:2023-06-05

    摘要: 本发明公开了一种激光数控机床加工无锥度群孔的装置和方法,该装置由激光与振镜系统、五轴数控机床系统和计算机控制系统组成;所采用加工工艺为倾斜工件旋转钻孔,孔径由振镜扫描填充圆直径决定,孔型由工件倾斜角度决定,此工艺在加工过程中需要保证激光光轴与五轴数控机床旋转轴相对位置不变,因此可以通过五轴数控机床插补联动控制,在工件上不同位置进行无锥孔加工,从而实现无锥度群孔加工。本发明有效结合激光加工与五轴数控机床的优点,实现高质量、高精度、高效率的无锥度群孔加工。

    飞秒激光复合稀土纳米修饰制备耐用超疏水表面的方法

    公开(公告)号:CN115008018B

    公开(公告)日:2023-08-01

    申请号:CN202210461640.7

    申请日:2022-04-28

    摘要: 一种飞秒激光复合稀土纳米修饰制备耐用超疏水表面的方法,包括实验预处理、基于飞秒激光进行材料表面织构化处理、稀土金属氧化物纳米物性修饰下的机械耐用性增强和本征疏水性初步改性以及温控时效下超疏水极端浸润特性的调制等步骤;本发明在充分发挥飞秒激光在微纳复合结构化表面制备的高灵活性、可重复性、高的适用性、极高的分辨率以及可以对结构进行可程序化设计与制造等优势的同时,结合结构的仿生设计与稀土金属氧化物本征疏水、化学性质稳定和耐磨性强等特性,来实现具有良好机械耐用性即耐磨损性能和耐摩擦性能的稳定、耐用超疏水表面的绿色、高效、可控性良好地调控与制备,对超疏水表面转向实际工业化、产业化大规模应用有着显著优势。

    一种光波导微透镜阵列的制备及光学性能检测方法

    公开(公告)号:CN112596134B

    公开(公告)日:2022-03-22

    申请号:CN202011398017.9

    申请日:2020-12-04

    IPC分类号: G02B3/00 G02B21/00 G01M11/02

    摘要: 一种光波导微透镜阵列的制备及光学性能检测方法,先制备光刻胶微透镜阵列,将聚二甲基硅氧烷与固化剂混合倒入光刻胶微透镜阵列,固化剥离后得到凹透镜阵列反模具;然后将凹透镜阵列反模具覆于加热的SU‑8表面并快速压印,冷却剥离后得到SU‑8微透镜阵列;再用紫外光直接照射SU‑8微透镜阵列,制得光波导微透镜阵列;然后在荧光观察状态下,在激光共聚焦显微镜中选择荧光染料,设置扫描深度和扫描步长得到光波导微透镜阵列的光路传输三维荧光图像,通过分析聚焦光斑的分布面积,判断是否在SU‑8微透镜阵列内诱导出了光波导结构;最后对光波导微透镜阵列进行光学性能评估:本发明实现光波导微透镜阵列的制备,并对光波导微透镜阵列光学性能提供检测与评估。

    一种基于飞秒激光加工聚酰亚胺表面制备标印图案的方法

    公开(公告)号:CN113977097A

    公开(公告)日:2022-01-28

    申请号:CN202111425717.7

    申请日:2021-11-26

    摘要: 一种基于飞秒激光加工聚酰亚胺表面制备标印图案的方法,先采用厚度为125μm的聚酰亚胺薄膜作为样品;然后搭建光路,利用电脑调节飞秒激光器输出激光,激光波长为800nm,脉宽为120fs,重复频率为1kHz,最大单脉冲能量为5mJ;再将样品固定在剪式升降台加工工位上,调节激光能量和扫描速度,在样品上获得传统标印图案和彩码图案;传统标印的加工表面布满了微纳米级的不规则结构,而微纳米结构具有抗反射的作用,所以有助于标印图案识别率的提高;彩码图案在制备时按颜色分为四部分进行加工,在识别时首先分别提取出黑色、黄色和紫色部分,然后将其合成彩码图案;本发明可对零部件实现信息追溯、存储及加密。

    利用飞秒激光光丝效应制备石英玻璃毫米级深微孔的方法

    公开(公告)号:CN112372162B

    公开(公告)日:2021-11-09

    申请号:CN202011201443.9

    申请日:2020-11-02

    IPC分类号: B23K26/382 B23K26/60

    摘要: 一种利用飞秒激光光丝效应制备石英玻璃毫米级深微孔的方法,先将石英玻璃样品清洗干净,然后搭建光路,光路包括飞秒激光器输出截面圆形光束经过反射镜、分光棱镜、快门,最后通过大焦距平凸透镜对圆形光斑激光束进行聚焦,得到飞秒激光光丝垂直照射在移动载物台的加工工位上,飞秒激光器、快门、移动载物台和电脑连接,利用电脑调节飞秒激光器输出不同的激光参数来控制飞秒激光光丝长度以及作用时间;将石英玻璃样品固定在移动载物台加工工位上,经飞秒激光照射,利用电脑控制移动载物沿竖直方向移动来改变离焦量从而改变光丝在材料内所处位置,最终得到深微孔;本发明操作简单,加工效率高,无需复杂后处理过程。

    一种飞秒激光加工喷嘴切向孔的装置和方法

    公开(公告)号:CN113492270A

    公开(公告)日:2021-10-12

    申请号:CN202110644477.3

    申请日:2021-06-09

    摘要: 本发明提供了一种飞秒激光加工喷嘴切向孔的装置和方法,涉及激光精密加工领域,装置包括飞秒激光器、波片、光阑、扩束镜、空间光整形器、扫描振镜、计算机、数控三轴运动平台、吸尘装置、工装夹具、过滤系统、密封管、压力表和抽真空泵;该技术方案原理是采用圆偏振态、平顶光分布的飞秒激光进行喷嘴切向孔的均匀精密加工,通过所述工装夹具中的防护挡块实现切向孔出口处的背伤保护,抽真空泵产生的负压既能监测孔的击穿情况,又能避免产生的等离子体对激光的屏蔽。本发明可以有效提高目前喷嘴切向孔的加工精度,避免重铸层和热影响的缺陷,又为背伤保护提出了解决办法,有助于提高喷嘴产品的液流性能。

    一种飞秒激光旋转加工光纤微结构的装置及方法

    公开(公告)号:CN113427135A

    公开(公告)日:2021-09-24

    申请号:CN202110714907.4

    申请日:2021-06-25

    摘要: 本发明公开了一种飞秒激光旋转加工光纤微结构的装置及方法,该装置包括飞秒激光器和计算机,在飞秒激光器的激光光路上通过光学固定支架依次放置有扩束镜、孔径光阑、第一反射镜、第二反射镜和扫描振镜,在扫描振镜正下方安装有数控三维运动平台,数控三维运动平台上放置有用于夹持光纤的工装夹具,开启飞秒激光器,将指示光斑置于光纤的正上方,移动数控三维运动平台,观察运动时光斑在光纤上的位置,调整工装夹具方向使数控三维运动平台移动时指示光斑始终保持在光纤的正上方,将工装夹具的可调速交流伺服电机与配套的调速器相连接,通过计算机控制飞秒激光器、数控三维运动平台及工装夹具。该方法实现了光纤微结构的加工。

    一种加工二维纳米结构的装置及方法

    公开(公告)号:CN113176424A

    公开(公告)日:2021-07-27

    申请号:CN202110352626.9

    申请日:2021-03-31

    IPC分类号: G01Q60/42

    摘要: 本发明公开了一种加工二维纳米结构的装置及方法,属于近场光学和纳米光刻领域。为解决现有技术存在的不足,采用光纤连续激光复合AFM探针诱导近场增强技术,通过调节激光波长,诱导可控增强近场制造二维纳米结构可控形态,激光波长的改变会导致AFM探针增强电磁场出现崔健磊,纳米结构形态变化根据增强近场与样品表面结构变化所需能量的相对大小而定。本发明无需更换和损坏探针,以非接触式方式快速、准确的制造不同形态的纳米结构,写图形时间为微秒级,可满足器件制造的需要。

    基于飞秒激光诱导分割图案实现信息显示及加密的方法

    公开(公告)号:CN110899957B

    公开(公告)日:2021-01-15

    申请号:CN201911179450.0

    申请日:2019-11-27

    IPC分类号: B23K26/00 B23K26/362

    摘要: 一种基于飞秒激光诱导分割图案实现信息显示及加密的方法,先采用在玻璃基底上依次沉积了Ti和Au的金属膜作为加工对象;然后搭建光路,利用电脑调节飞秒激光器输出激光,激光波长为1030nm,脉宽为240fs,重复频率为1‑200kHz可调,最大单脉冲能量为200μJ;再将样品固定在剪式升降台加工工位上,调节激光能量、扫描速度和扫描间距,图案被100μm等距分割,并在分割的相邻区域分别制备方向互相垂直的激光诱导周期性表面结构LIPSSs;本发明采用飞秒激光诱导分割图案的相邻区域分别制备方向互相垂直的LIPSSs,扩大了信息显示的范围,并实现了信息的加密。

    一种激光复合扫描近场光学显微镜探针的纳米加工方法

    公开(公告)号:CN111843386A

    公开(公告)日:2020-10-30

    申请号:CN202010709509.9

    申请日:2020-07-22

    IPC分类号: B23P15/00 B23K26/00

    摘要: 一种激光复合扫描近场光学显微镜探针的纳米加工方法,先通过磁控溅射仪在硅片基底表面溅射一层银薄膜,然后搭建激光复合SNOM探针加工平台,实现SNOM探针的精准位置控制以及激光与SNOM探针针尖小孔的精确复合加工,最后设置激光参数并在样品表面进行纳米结构加工;本发明同时利用SNOM探针针尖的高精度,以及激光在针尖产生的高瞬时能量等特点对银薄膜表面进行纳米结构加工,工艺简单,加工效率高,可大规模使用,加工产生的结构尺寸满足纳米结构的要求。