本发明公开了一种供气调节装置，属于稀有气体同位素分析技术领域，包括储气箱和供气箱，储气箱的进气端和供气箱的出气端均设有阀门，供气箱与供气箱之间也设有阀门，供气箱体积可调且大于供气箱，通过供气箱、储气箱和各阀门之间的配合能够实现同一批气体，等量多次供气；还公开了一种He气同位素分析系统及分析方法，包括稀有气体纯化装置、质谱仪，储气箱的进气端与稀有气体纯化装置连通，供气箱的出气端与质谱仪进气端连通，质谱仪出气端与稀有气体纯化装置连通，稀有气体纯化装置可提出气体得到纯净的He气，通入供气调节装置后，将同一批He气多次等量的供应，并在质谱仪分析下取均值，大幅降低单次纯化后的He气分析误差，提高分析的真实性。