发明授权
CN1133543C 喷墨头的微流道及微喷嘴的制造方法
失效 - 权利终止
- 专利标题： 喷墨头的微流道及微喷嘴的制造方法
- 专利标题（英）： Technology for manufacturing micro channel and micro nozzle of ink-jet head
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申请号： CN00103591.6申请日： 2000-03-31
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公开(公告)号： CN1133543C公开(公告)日： 2004-01-07
- 发明人: 祝煜伦 , 史望平
- 申请人： 微邦科技股份有限公司
- 申请人地址： 台湾省台北市
- 专利权人： 微邦科技股份有限公司
- 当前专利权人： 微邦科技股份有限公司
- 当前专利权人地址： 台湾省台北市
- 代理机构： 北京三友知识产权代理有限公司
- 代理商 刘朝华
- 主分类号： B41J2/16
- IPC分类号： B41J2/16
摘要：
一种喷墨头的微流道及微喷嘴的制造方法，包括如下步骤：通过紫外线光源产生波长范围100-400nm的紫外线镭射光束；将紫外线光束射入光调制模组内，使紫外线镭射光束的能量大小和分布达到所需要的紫外线镭射光束；将适当形状的显微影像通过投影透镜组将其投影至被加工物上，进行精密干蚀刻；蚀刻出具所需微流道及微喷嘴的产品，显微影像包括“+”字型或其他所需形状图样。具有低成本、高优良品率、高精度、高效率及无污染等优点。
公开/授权文献
- CN1315252A 喷墨头的微流道及微喷嘴的制造方法 公开/授权日：2001-10-03
IPC分类:
