公开(公告)号：CN1315252A

公开(公告)日：2001-10-03

申请号：CN00103591.6

申请日：2000-03-31

申请人： 微邦科技股份有限公司

发明人： 祝煜伦 ,  史望平

IPC分类号： B41J2/16

摘要： 一种喷墨头的微流道及微喷嘴的制造方法,包括如下步骤：通过紫外线光源产生波长范围100－400nm的紫外线雷射光束;将紫外线光束射入光调制模组内,使紫外线雷射光束的能量大小和分布达到所需要的紫外线雷射光束;将适当形状的显微影像通过投影透镜组将其投影至被加工物上,进行精密干蚀刻;蚀刻出具所需微流道及微喷嘴的产品。具有低成本、高优良品率、高精度、高效率及无污染等优点。

公开(公告)号：CN1133543C

公开(公告)日：2004-01-07

申请号：CN00103591.6

申请日：2000-03-31

申请人： 微邦科技股份有限公司

发明人： 祝煜伦 ,  史望平

IPC分类号： B41J2/16

摘要： 一种喷墨头的微流道及微喷嘴的制造方法，包括如下步骤：通过紫外线光源产生波长范围100-400nm的紫外线镭射光束；将紫外线光束射入光调制模组内，使紫外线镭射光束的能量大小和分布达到所需要的紫外线镭射光束；将适当形状的显微影像通过投影透镜组将其投影至被加工物上，进行精密干蚀刻；蚀刻出具所需微流道及微喷嘴的产品，显微影像包括“+”字型或其他所需形状图样。具有低成本、高优良品率、高精度、高效率及无污染等优点。