发明公开
- 专利标题: 集成电路及其形成方法
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申请号: CN202110579205.X申请日: 2021-05-26
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公开(公告)号: CN113363235A公开(公告)日: 2021-09-07
- 发明人: 林建宏 , 张新君 , 谢明宏 , 王明义 , 卢胤龙
- 申请人: 台湾积体电路制造股份有限公司
- 申请人地址: 中国台湾新竹
- 专利权人: 台湾积体电路制造股份有限公司
- 当前专利权人: 台湾积体电路制造股份有限公司
- 当前专利权人地址: 中国台湾新竹
- 代理机构: 北京德恒律治知识产权代理有限公司
- 代理商 章社杲; 李伟
- 优先权: 63/029,863 20200526 US 17/162,584 20210129 US
- 主分类号: H01L23/522
- IPC分类号: H01L23/522 ; H01L23/528 ; H01L21/768
摘要:
公开了具有贯穿电路通孔(TCV)的集成电路(IC)及其形成方法。IC包括:半导体器件;分别设置在半导体器件的第一和第二表面上的第一和第二互连结构;分别设置在衬底的前表面和后表面上的第一和第二层间电介质(ILD)层;以及设置在第一和第二互连结构、第一和第二ILD层以及衬底内的TCV。TCV通过衬底的部分以及第一和第二ILD层的部分与半导体器件间隔开。布置在衬底的前表面上的TCV的第一端连接到第一互连结构的导线,布置在衬底的后表面上的TCV的第二端连接到第二互连结构的导线。
公开/授权文献
- CN113363235B 集成电路及其形成方法 公开/授权日:2024-11-15
IPC分类: