本发明涉及一种真空度传感器，尤其是一种自验证真空度传感器。按照本发明提供的技术方案，所述自验证真空度传感器，包括气体腔室，在所述气体腔室内设置红外光源单元以及热电堆单元，通过红外光源单元能产生所需的红外辐射，所述热电堆单元能接收红外光源单元发射的红外辐射，在热电堆的冷热端之间产生温度差，由塞贝克效应在热探测单元输出相应的电压。在此过程中真空度将影响空气热导率，最终改变热电堆的输出电压，利用所述输出电压的变化获得相对应的真空度信息。本发明的真空度传感器既可检测真空室总真空度P，又可检测真空室某一气体分压Pi。