本发明提供一种高频脉冲电子束偏压电源，它包括：基值偏压电源、脉冲偏压电源、隔离通讯电路、隔离供电电源、高压斩波电路；本发明在偏压电源的高压端设置专门的高压斩波电路，能够有效避免高压隔离变压器等器件中的分布电感和电容影响，从而获得上升沿和下降沿快速变化的高频脉冲电子束束流；采用调制解调和高压隔离技术实现了低压端高频脉冲参数向高压端电路的安全可靠隔离串行通讯，并实现了高压端PWM控制波形的产生，使脉冲频率、占空比控制精度高且灵活方便；同时通过高压隔离技术确保了高压端电路供电，大大提高了脉冲偏压上升沿和下降沿的变化速率；本发明结构科学，工艺性好，具有广阔推广应用价值。