一种任意层互联内埋芯片微波多功能组件及其制造方法
摘要:
本发明涉及雷达电子功能部件制造技术领域,具体涉及一种任意层互联内埋芯片微波多功能组件及其制造方法,包含数字层和微带层共计16层以上;数字部分采用HDI积层工艺,微带层部分使用微波PCB工艺制造,与芯片电气互连的图形使用LDI配合真空蚀刻的方法,形成与芯片焊端匹配的焊盘尺寸;内埋芯片通过焊接或粘接的方法,与上层微带层连通,并对焊端位置进行保护,芯片顶面贴具有一定柔性和弹性的导热胶膜;通过任意层互连方式将下层数字层和上层微带层合而为一,绝缘层为热固性半固化片。本发明有效解决了有效解决采用传统二维互连多功能板元器件表面安装密度低、电气布线密度低、散热路径长、散热能力有限等问题。
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