本发明提供一种能够缩短低温泵系统的再生时间的低温泵系统、低温泵系统的控制装置及再生方法。所述低温泵系统(100)具备：多个低温泵(10)；以及控制器(20)，针对各个低温泵，根据由该低温泵的压力传感器(22)测定的测定压力来控制该低温泵的粗抽阀(24)，以使共用的粗抽泵(32)将该低温泵减压至第1基准压力并将其真空保持，接着将该低温泵进一步减压至比第1基准压力更低的第2基准压力。控制器(20)构成为，根据多个低温泵中的某一个低温泵的压力传感器(22)的测定压力来使另一个低温泵的粗抽阀(24)打开，以便在将某一个低温泵真空保持的期间使另一个低温泵减压至第1基准压力。