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公开(公告)号：CN113446191B
公开(公告)日：2023-04-14
申请号：CN202110281890.8
申请日：2021-03-16
Applicant: 住友重机械工业株式会社
Abstract: 本发明提供一种能够缩短低温泵系统的再生时间的低温泵系统、低温泵系统的控制装置及再生方法。所述低温泵系统(100)具备：多个低温泵(10)；以及控制器(20)，针对各个低温泵，根据由该低温泵的压力传感器(22)测定的测定压力来控制该低温泵的粗抽阀(24)，以使共用的粗抽泵(32)将该低温泵减压至第1基准压力并将其真空保持，接着将该低温泵进一步减压至比第1基准压力更低的第2基准压力。控制器(20)构成为，根据多个低温泵中的某一个低温泵的压力传感器(22)的测定压力来使另一个低温泵的粗抽阀(24)打开，以便在将某一个低温泵真空保持的期间使另一个低温泵减压至第1基准压力。
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公开(公告)号：CN116848321A
公开(公告)日：2023-10-03
申请号：CN202280013932.2
申请日：2022-02-10
Applicant: 住友重机械工业株式会社
IPC: F04B37/08
Abstract: 本发明的低温泵(10)具备：低温泵容器(16)，具有确定低温泵进气口(17)的容器主体(16a)及连接于容器主体(16a)的侧部的制冷机容纳筒(16b)；制冷机(14)，固定于制冷机容纳筒(16b)，并且具有第1冷却台(30)及冷却至比第1冷却台(30)更低的温度的第2冷却台(34)；多个低温板(38)，与第2冷却台(34)热连接，并且各个低温板能够吸附非冷凝性气体，多个低温板沿从低温泵进气口(17)朝向容器主体(16a)的底部的方向排列或者从低温泵进气口(17)观察时配置成放射状；及吹扫气体导入部(20)，在比制冷机容纳筒(16b)更靠下方位置设置于容器主体(16a)上，从而向远离第2冷却台(34)的低温板(38)的远端部喷吹吹扫气体。
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公开(公告)号：CN111788389B
公开(公告)日：2022-07-26
申请号：CN201980011636.7
申请日：2019-02-27
Applicant: 住友重机械工业株式会社
Inventor： 五反田修平
Abstract: 本发明的低温泵(10)具备：制冷机(16)，其具备第1冷却台(22)及第2冷却台(24)；放射屏蔽件(30)，其包围第2冷却台(24)且沿轴向延伸，并且与第1冷却台(22)热连接；多个吸附低温板(60)，其在轴向上配置于进气口(12)与第2冷却台(24)之间，并且与第2冷却台(24)热连接；及冷凝低温板(68)，其在径向上配置于放射屏蔽件(30)与多个吸附低温板(60)之间，并且与第2冷却台(24)热连接，冷凝低温板(68)具有沿轴向延伸且两端开放的筒状形状。
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公开(公告)号：CN113446191A
公开(公告)日：2021-09-28
申请号：CN202110281890.8
申请日：2021-03-16
Applicant: 住友重机械工业株式会社
Abstract: 本发明提供一种能够缩短低温泵系统的再生时间的低温泵系统、低温泵系统的控制装置及再生方法。所述低温泵系统(100)具备：多个低温泵(10)；以及控制器(20)，针对各个低温泵，根据由该低温泵的压力传感器(22)测定的测定压力来控制该低温泵的粗抽阀(24)，以使共用的粗抽泵(32)将该低温泵减压至第1基准压力并将其真空保持，接着将该低温泵进一步减压至比第1基准压力更低的第2基准压力。控制器(20)构成为，根据多个低温泵中的某一个低温泵的压力传感器(22)的测定压力来使另一个低温泵的粗抽阀(24)打开，以便在将某一个低温泵真空保持的期间使另一个低温泵减压至第1基准压力。
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公开(公告)号：CN111788389A
公开(公告)日：2020-10-16
申请号：CN201980011636.7
申请日：2019-02-27
Applicant: 住友重机械工业株式会社
Inventor： 五反田修平
Abstract: 本发明的低温泵(10)具备：制冷机(16)，其具备第1冷却台(22)及第2冷却台(24)；放射屏蔽件(30)，其包围第2冷却台(24)且沿轴向延伸，并且与第1冷却台(22)热连接；多个吸附低温板(60)，其在轴向上配置于进气口(12)与第2冷却台(24)之间，并且与第2冷却台(24)热连接；及冷凝低温板(68)，其在径向上配置于放射屏蔽件(30)与多个吸附低温板(60)之间，并且与第2冷却台(24)热连接，冷凝低温板(68)具有沿轴向延伸且两端开放的筒状形状。
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