发明公开
- 专利标题: 一种光刻胶用酚醛树脂及其制备方法
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申请号: CN202110910692.3申请日: 2021-08-09
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公开(公告)号: CN113461885A公开(公告)日: 2021-10-01
- 发明人: 张洁 , 纪爱亮 , 王光辉 , 张成 , 王文芳 , 董栋 , 张宁
- 申请人: 北京彤程创展科技有限公司 , 上海彤程电子材料有限公司 , 彤程新材料集团股份有限公司
- 申请人地址: 北京市大兴区北京经济技术开发区科创十四街20号院10号楼1至4层3; ;
- 专利权人: 北京彤程创展科技有限公司,上海彤程电子材料有限公司,彤程新材料集团股份有限公司
- 当前专利权人: 北京彤程创展科技有限公司,上海彤程电子材料有限公司,彤程新材料集团股份有限公司
- 当前专利权人地址: 北京市大兴区北京经济技术开发区科创十四街20号院10号楼1至4层3; ;
- 代理机构: 北京维正专利代理有限公司
- 代理商 李爱民
- 主分类号: C08G8/24
- IPC分类号: C08G8/24 ; G03F7/004
摘要:
本申请涉及光刻胶技术领域,具体公开了一种光刻胶用酚醛树脂及其制备方法。所述制备方法包括制备步骤和纯化步骤,制备步骤:单羟基甲酚、多羟基苯酚和醛类化合物在酸性催化剂和水的条件下进行反应,得到反应液;纯化步骤:首先中和剂中和反应液,并分出水相;然后进行水洗处理,并分出水相;最后在35~80℃温度下进行干燥,得到光刻胶用酚醛树脂。所述光刻胶用酚醛树脂是由上述制备方法制备而得。本申请通过在酚醛树脂的结构中适当引入多羟基苯酚,提高酚醛树脂的耐热性,进而提高光刻胶的感光灵敏度、分辨率和反差,同时还可以调节酚醛树脂的碱溶解速率。
公开/授权文献
- CN113461885B 一种光刻胶用酚醛树脂及其制备方法 公开/授权日:2022-07-05