一种光刻胶用酚醛树脂及其制备方法
摘要:
本申请涉及光刻胶技术领域,具体公开了一种光刻胶用酚醛树脂及其制备方法。所述制备方法包括制备步骤和纯化步骤,制备步骤:单羟基甲酚、多羟基苯酚和醛类化合物在酸性催化剂和水的条件下进行反应,得到反应液;纯化步骤:首先中和剂中和反应液,并分出水相;然后进行水洗处理,并分出水相;最后在35~80℃温度下进行干燥,得到光刻胶用酚醛树脂。所述光刻胶用酚醛树脂是由上述制备方法制备而得。本申请通过在酚醛树脂的结构中适当引入多羟基苯酚,提高酚醛树脂的耐热性,进而提高光刻胶的感光灵敏度、分辨率和反差,同时还可以调节酚醛树脂的碱溶解速率。
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