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公开(公告)号：CN114136909B
公开(公告)日：2024-08-16
申请号：CN202111460580.9
申请日：2021-12-02
申请人： 上海彤程电子材料有限公司 , 北京彤程创展科技有限公司 , 北京科华微电子材料有限公司 , 彤程化学(中国)有限公司 , 彤程新材料集团股份有限公司
IPC分类号： G01N21/35 , G01N21/3563
摘要： 本申请涉及光刻胶树脂技术领域，提供了一种测试聚(4‑羟基苯乙烯‑co‑特丁氧酰氧基苯乙烯)羟基保护率的方法，通过获得已知羟基保护率的聚(4‑羟基苯乙烯‑co‑特丁氧酰氧基苯乙烯)样品中羰基的两个特征峰总面积和苯环对位取代基的特征峰面积的比值，建立得到标准曲线的回归方程；将聚(4‑羟基苯乙烯‑co‑特丁氧酰氧基苯乙烯)待测样品中羰基的两个特征峰总面积和苯环对位取代基的特征峰面积的比值代入上述回归方程，即可计算得到待测样品的羟基保护率；该方法能够准确获得聚(4‑羟基苯乙烯‑co‑特丁氧酰氧基苯乙烯)待测样品的羟基保护率，且具有简便、分析速度快、准确度高、误差小、检测成本低等优势。
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公开(公告)号：CN113621115B
公开(公告)日：2024-05-14
申请号：CN202110910693.8
申请日：2021-08-09
申请人： 北京彤程创展科技有限公司 , 上海彤程电子材料有限公司 , 彤程新材料集团股份有限公司
IPC分类号： C08G8/24
摘要： 本申请涉及光刻胶技术领域，具体公开了一种分子量高度可控的酚醛树脂及其制备方法和应用。所述制备方法包括如下步骤：制备步骤：在惰性气氛下，甲基苯酚类化合物和醛类化合物在酸性催化剂、水存在下发生反应，得到反应液；脱水脱酚步骤：首先采用水对反应液进行水洗处理并分出水相，重复水洗处理，直至所分出的水相pH=6.5~7；然后在35~80℃温度下进行干燥，得到酚醛树脂。所述分子量高度可控的酚醛树脂是由上述制备方法制备而成。所述分子量高度可控的酚醛树脂在制备光刻胶中的应用。本申请在同一反应条件下达到高度控制酚醛树脂的分子量和软化点的目的，保证酚醛树脂的分子量和软化点稳定。
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公开(公告)号：CN113804867B
公开(公告)日：2023-10-31
申请号：CN202111138814.8
申请日：2021-09-27
申请人： 上海彤程电子材料有限公司 , 北京彤程创展科技有限公司 , 北京科华微电子材料有限公司 , 彤程化学(中国)有限公司 , 彤程新材料集团股份有限公司
IPC分类号： G01N33/44
摘要： 本申请提供了一种测试光刻胶树脂组分的方法，通过获得光刻胶树脂中保护基团R的结构及分子量，采用凝胶渗透色谱获得光刻胶树脂经衍生化处理前后的重均分子量，并经本申请的公式计算，获得光刻胶树脂中保护基团R的保护率，进而获得光刻胶树脂中各单体的组分；所述方法能够准确获得光刻胶树脂中各单体的组分，为确定光刻胶树脂的性能提供了理论依据，且所述方法具有简便、灵敏度高、分析速度快、准确率高、误差小等优势。
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公开(公告)号：CN112630336B
公开(公告)日：2022-09-16
申请号：CN202011489899.X
申请日：2020-12-16
申请人： 上海彤程电子材料有限公司 , 北京彤程创展科技有限公司 , 北京科华微电子材料有限公司 , 彤程化学(中国)有限公司 , 彤程新材料集团股份有限公司
摘要： 本申请涉及定量检测的技术领域，更具体地说，它涉及一种酚醛树脂中酚的检测方法，具体包括以下步骤：制备树脂溶液；制备标准液；检测：利用裂解‑气相色谱联用对所述树脂溶液和所述标准液进行检测；计算：根据检测结果，按照公式（一）进行计算；式中：Moli,%‑酚单体i的摩尔百分比；Ai‑酚单体i在气相色谱图中的积分面积；Mi‑酚单体i的摩尔质量。本申请为酚醛树脂的分析提供一种更加便捷的技术手段，检测快速准确，具有高灵敏度和高准确性。
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公开(公告)号：CN114136910A
公开(公告)日：2022-03-04
申请号：CN202111474323.0
申请日：2021-12-02
申请人： 上海彤程电子材料有限公司 , 北京彤程创展科技有限公司 , 北京科华微电子材料有限公司 , 彤程化学(中国)有限公司 , 彤程新材料集团股份有限公司
IPC分类号： G01N21/35 , G01N21/3563
摘要： 本申请涉及光刻胶树脂技术领域，提供了一种测试丙烯酸叔丁酯与对羟基苯乙烯共聚物中重复单元的摩尔分数的方法，通过获得已知两种重复单元的摩尔比的丙烯酸叔丁酯与对羟基苯乙烯共聚物样品中羰基的特征峰高度和苯环对位取代基的特征峰高度的比值，建立得到标准曲线的回归方程；将待测样品中羰基的特征峰高度和苯环对位取代基的特征峰高度的比值代入上述回归方程，即可计算得到待测样品中两种重复单元的摩尔比，进而换算得到待测样品中重复单元的摩尔分数。该方法能够准确获得丙烯酸叔丁酯与对羟基苯乙烯共聚物待测样品中重复单元的摩尔分数，且不需要使用毒性较大的良溶剂，具有简便、分析速度快、准确度高、误差小、检测成本低、安全环保等优势。
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公开(公告)号：CN114136909A
公开(公告)日：2022-03-04
申请号：CN202111460580.9
申请日：2021-12-02
申请人： 上海彤程电子材料有限公司 , 北京彤程创展科技有限公司 , 北京科华微电子材料有限公司 , 彤程化学(中国)有限公司 , 彤程新材料集团股份有限公司
IPC分类号： G01N21/35 , G01N21/3563
摘要： 本申请涉及光刻胶树脂技术领域，提供了一种测试聚(4‑羟基苯乙烯‑co‑特丁氧酰氧基苯乙烯)羟基保护率的方法，通过获得已知羟基保护率的聚(4‑羟基苯乙烯‑co‑特丁氧酰氧基苯乙烯)样品中羰基的两个特征峰总面积和苯环对位取代基的特征峰面积的比值，建立得到标准曲线的回归方程；将聚(4‑羟基苯乙烯‑co‑特丁氧酰氧基苯乙烯)待测样品中羰基的两个特征峰总面积和苯环对位取代基的特征峰面积的比值代入上述回归方程，即可计算得到待测样品的羟基保护率；该方法能够准确获得聚(4‑羟基苯乙烯‑co‑特丁氧酰氧基苯乙烯)待测样品的羟基保护率，且具有简便、分析速度快、准确度高、误差小、检测成本低等优势。
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公开(公告)号：CN113759046A
公开(公告)日：2021-12-07
申请号：CN202111116984.6
申请日：2021-09-23
申请人： 上海彤程电子材料有限公司 , 北京彤程创展科技有限公司 , 北京科华微电子材料有限公司 , 彤程化学(中国)有限公司 , 彤程新材料集团股份有限公司
摘要： 本申请涉及材料检测技术领域，具体而言，涉及一种气相色谱‑质谱联用检测光刻胶膜中丙二醇甲醚醋酸酯的方法及半导体器件的加工工艺。检测方法包括以下步骤：将涂覆有光刻胶膜的硅片碎片放入萃取剂中进行超声萃取，将萃取液和内标溶液配置为待测样品液；配制不同浓度的丙二醇甲醚醋酸酯的标准品溶液；用气相色谱‑质谱联用检测各标准品溶液，根据丙二醇甲醚醋酸酯与内标物的离子色谱峰的面积比与丙二醇甲醚醋酸酯的浓度进行回归分析，建立回归方程；检测待测样品液，获得丙二醇甲醚醋酸酯与内标物的离子色谱峰的面积比，将其代入所述回归方程进行计算，得到待测样品液中丙二醇甲醚醋酸酯的浓度。实验重复性、分析测定灵敏度高，定量结果准确。
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公开(公告)号：CN113621115A
公开(公告)日：2021-11-09
申请号：CN202110910693.8
申请日：2021-08-09
申请人： 北京彤程创展科技有限公司 , 上海彤程电子材料有限公司 , 彤程新材料集团股份有限公司
IPC分类号： C08G8/24
摘要： 本申请涉及光刻胶技术领域，具体公开了一种分子量高度可控的酚醛树脂及其制备方法和应用。所述制备方法包括如下步骤：制备步骤：在惰性气氛下，甲基苯酚类化合物和醛类化合物在酸性催化剂、水存在下发生反应，得到反应液；脱水脱酚步骤：首先采用水对反应液进行水洗处理并分出水相，重复水洗处理，直至所分出的水相pH=6.5~7；然后在35~80℃温度下进行干燥，得到酚醛树脂。所述分子量高度可控的酚醛树脂是由上述制备方法制备而成。所述分子量高度可控的酚醛树脂在制备光刻胶中的应用。本申请在同一反应条件下达到高度控制酚醛树脂的分子量和软化点的目的，保证酚醛树脂的分子量和软化点稳定。
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公开(公告)号：CN114136908B
公开(公告)日：2024-08-20
申请号：CN202111459965.3
申请日：2021-12-02
申请人： 上海彤程电子材料有限公司 , 北京彤程创展科技有限公司 , 北京科华微电子材料有限公司 , 彤程化学(中国)有限公司 , 彤程新材料集团股份有限公司
IPC分类号： G01N21/35 , G01N21/3563
摘要： 本申请涉及光刻胶树脂技术领域，提供了一种测试缩醛部分保护的聚对羟基苯乙烯树脂保护率的方法，通过获得已知保护率缩醛部分保护的聚对羟基苯乙烯树脂样品中醚键的特征峰高度和苯环对位取代基的特征峰高度的比值，建立得到标准曲线的回归方程；将缩醛部分保护的聚对羟基苯乙烯树脂待测样品中醚键的特征峰高度和苯环对位取代基的特征峰高度的比值代入上述回归方程，即可计算得到待测样品的保护率；该方法能够准确获得缩醛部分保护的聚对羟基苯乙烯树脂待测样品的保护率，且不需要使用毒性较大的良溶剂，具有简便、分析速度快、准确度高、误差小、检测成本低、安全环保等优势。
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公开(公告)号：CN114414711B
公开(公告)日：2023-10-13
申请号：CN202111647566.X
申请日：2021-12-29
申请人： 北京彤程创展科技有限公司 , 上海彤程电子材料有限公司 , 彤程新材料集团股份有限公司
摘要： 本申请涉及光刻胶分析技术领域，具体涉及一种光刻胶中鎓盐类光致产酸剂的鉴定方法，包括以下步骤：S1、光刻胶的预处理：向待测光刻胶样品中加入提取液，直至光刻胶样品中有沉淀物析出，去除沉淀物，得到待测清液；S2、待测清液的GC‑MS分析检测：待测清液采用气相色谱质谱联用仪进行检测，得到GC‑MS总离子流色谱图；S3、鎓盐类光致产酸剂的鉴定：在GC‑MS总离子流色谱图中分别提取m/z=186、262、431、281、393的特征离子碎片峰；通过比对提取离子色谱图中各组分的保留时间和质谱图，鉴别鎓盐类光致产酸剂。本申请采用GC‑MS方法对鎓盐光致产酸剂进行鉴定，满足微量分析，鉴定精准、判断快速。
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