本发明公开了一种沉积态TGO层的热障涂层工艺，包括以下步骤，步骤1，将沉积金属粘结层后的待涂层零件放入电子束气相沉积设备中，将电子束气相沉积设备进行抽真空，通过电子束枪束流将待涂层零件进行加热，然后保温，控制加热温度和加热时间在金属粘结层的表面形成受控生长的TGO层，降低加热待涂层零件的电子束枪束流，准备沉积陶瓷面层；步骤2，在步骤1制备的TGO层上沉积陶瓷面层，进行冷却，形成TGO层受控生长的热障涂层。通过控制加热温度、保温时间等工艺参数，在金属粘结层表面形成一层厚度可控的TGO层，从而显著提升热障涂层的使用寿命，满足发动机涡轮叶片高温防腐蚀、隔热的使用要求。