一种半导体装置及其制备方法
摘要:
本发明涉及一种半导体装置及其制备方法,通过在所述第一、第二、第三、第四芯片的第一、第二、第三、第四沟槽中分别形成第一、第二、第三、第四盲孔,并在第五、第六、第七、第八芯片各自的背面分别形成第一、第二、第三、第四凸起,并在所述第一、第二、第三、第四凸起的侧表面分别形成贯穿穿孔,进而在后续的键合工艺中,在第一、第二、第三、第四沟槽中以及第一、第二、第三、第四盲孔中设置粘结材料,进而将第五、第六、第七、第八芯片分别对应设置在第一、第二、第三、第四沟槽中,并使得第一、第二、第三、第四凸起分别嵌入到相应的第一、第二、第三、第四盲孔中,并使得各盲孔中的粘结材料的一部分嵌入到各凸起的各穿孔中。
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