发明授权
CN113488396B 一种半导体装置及其制备方法
失效 - 权利终止
- 专利标题: 一种半导体装置及其制备方法
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申请号: CN202111041020.X申请日: 2021-09-07
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公开(公告)号: CN113488396B公开(公告)日: 2021-11-05
- 发明人: 宋小波 , 石明华 , 蔡成俊 , 陈健
- 申请人: 南通汇丰电子科技有限公司
- 申请人地址: 江苏省南通市海门市悦来镇三条桥路39号
- 专利权人: 南通汇丰电子科技有限公司
- 当前专利权人: 南通汇丰电子科技有限公司
- 当前专利权人地址: 江苏省南通市海门市悦来镇三条桥路39号
- 代理机构: 苏州三英知识产权代理有限公司
- 代理商 陆颖
- 主分类号: H01L21/50
- IPC分类号: H01L21/50 ; H01L21/56 ; H01L23/31
摘要:
本发明涉及一种半导体装置及其制备方法,通过在所述第一、第二、第三、第四芯片的第一、第二、第三、第四沟槽中分别形成第一、第二、第三、第四盲孔,并在第五、第六、第七、第八芯片各自的背面分别形成第一、第二、第三、第四凸起,并在所述第一、第二、第三、第四凸起的侧表面分别形成贯穿穿孔,进而在后续的键合工艺中,在第一、第二、第三、第四沟槽中以及第一、第二、第三、第四盲孔中设置粘结材料,进而将第五、第六、第七、第八芯片分别对应设置在第一、第二、第三、第四沟槽中,并使得第一、第二、第三、第四凸起分别嵌入到相应的第一、第二、第三、第四盲孔中,并使得各盲孔中的粘结材料的一部分嵌入到各凸起的各穿孔中。
公开/授权文献
- CN113488396A 一种半导体装置及其制备方法 公开/授权日:2021-10-08
IPC分类: