- 专利标题： 一种半导体外延石英部件加工砂轮、研磨装置以及磨床
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申请号： CN202111065615.9申请日： 2021-09-13
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公开(公告)号： CN113500502A公开(公告)日： 2021-10-15
- 发明人: 王卫良 , 李士昌 , 刘超平 , 林保璋 , 蒋建新
- 申请人： 盛吉盛(宁波)半导体科技有限公司 , 盛吉盛精密制造(绍兴)有限公司
- 申请人地址： 浙江省宁波市鄞州区云龙镇石桥村;
- 专利权人： 盛吉盛(宁波)半导体科技有限公司,盛吉盛精密制造(绍兴)有限公司
- 当前专利权人： 盛吉盛(宁波)半导体科技有限公司,盛吉盛精密制造(绍兴)有限公司
- 当前专利权人地址： 浙江省宁波市鄞州区云龙镇石桥村;
- 主分类号： B24B19/22
- IPC分类号： B24B19/22 ; B24B41/04 ; B24B45/00 ; B24B47/12 ; B24B55/00 ; B24B41/02
摘要：
本申请涉及一种半导体外延石英部件加工砂轮、研磨装置以及磨床，涉及半导体外延石英部件生产的技术领域，包括连接套、通过连接装置可拆卸设置在连接套上的精磨轮和粗磨轮。本申请通过解锁连接装置，然后根据加工要求更换精磨轮和粗磨轮进行更换，提高了对砂轮进行选择时的便利性，也降低了多次更换砂轮的概率，而且在产品加工时，可提前将需要的精磨轮和粗磨轮更换完成，以此来提高了砂轮对产品进行加工时的加工效率。
公开/授权文献
- CN113500502B 一种半导体外延石英部件加工砂轮、研磨装置以及磨床 公开/授权日：2021-11-30
