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公开(公告)号：CN115056369B
公开(公告)日：2024-11-01
申请号：CN202210870221.9
申请日：2022-07-23
申请人： 盛吉盛精密制造(绍兴)有限公司 , 盛吉盛(宁波)半导体科技有限公司
摘要： 本发明涉及半导体器件生产设备，公开了一种半导体扩散炉石英支架及其精密定位装置，其中半导体扩散炉石英支架包括支架立轴、套设于支架立轴上的支架爪盘，所述支架立轴用于与支架爪盘相配合的一端开设有锥形面，所述支架爪盘上开设有用于供支架立轴带有锥形面的一端嵌入的锥形槽口；本发明分体式的石英支架能够适应炉管横置的扩散炉，使得石英支架能够放入横置的炉管内对晶片进行支撑；而精密定位装置则能够提高支架立轴的加工精度，使得支架立轴在旋转的过程中能够更平稳地带动支架爪盘上的晶片旋转。
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公开(公告)号：CN118455767A
公开(公告)日：2024-08-09
申请号：CN202410746103.6
申请日：2024-06-11
申请人： 盛吉盛精密制造(绍兴)有限公司
摘要： 本申请涉及一种异型管生产工艺及其生产设备，其包括机架、切割组件、安装组件以及夹持组件，切割组件以及安装组件均设置于机架上，夹持组件包括夹持座以及两个用于夹持圆柱管的端面夹持件，夹持座滑移连接于机架上，端面夹持件沿圆柱管的长度方向分布，端面夹持件包括夹持气缸、伸入管、气泵以及四个顶块，伸入管的长度方向平行于圆柱管的长度方向，伸入管沿伸入管的长度方向滑移连接于夹持座上，四个顶块沿伸入管的轴线周向分布，顶块沿伸入管的径向方向滑移连接于伸入管的侧壁上，伸入管的两端密封设置，气泵用于向伸入管内通气，夹持气缸用于带动伸入管进入圆柱管内。本申请具有能够生产不同直径的异形管的效果。
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公开(公告)号：CN116694239A
公开(公告)日：2023-09-05
申请号：CN202310603423.1
申请日：2023-05-25
申请人： 盛吉盛精密制造(绍兴)有限公司
IPC分类号： C09J5/02 , B24B37/04 , B24B37/10 , H01L21/683
摘要： 本发明公开了一种非接触式石英吸盘的制作工艺及其加工设备，英吸盘包括片状的吸盘上板和片状的吸盘下板；吸盘下板的上端面上成型有出气流导槽；出气流导槽的底面上成型有若干上下开口的倾斜出气孔；吸盘上板通过无机胶水粘合在吸盘下板的上端面上；石英吸盘加工时首先在吸盘下板的一个表面上加工出气流导槽和倾斜出气孔、在吸盘上板上加工出进气孔，然后通过无机胶水粘合吸盘下板和吸盘上板，最后进行烧结，这样的加工方式气道加工方便，同时吸盘整体的厚度较薄，可以适应狭小的工作环境；同时通过烧结的方式使得吸盘耐高温；无机胶水的使用不光增加了吸盘整体强度，同时无机胶水不会产生小颗粒，避免小颗粒刮伤硅片。
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公开(公告)号：CN116666297A
公开(公告)日：2023-08-29
申请号：CN202310750191.2
申请日：2023-06-21
申请人： 盛吉盛精密制造(绍兴)有限公司
IPC分类号： H01L21/683
摘要： 本发明公开了一种用于硅片转移的非接触式石英吸盘，两组内侧喷气组位于外侧喷气组和进气孔之间；外侧喷气组包括一对外喷气孔；内侧喷气组包括一对内喷气孔；外侧喷气组的一对外喷气孔相对于石英吸盘本体的对称中心面对称设置；内侧喷气组的一对内喷气孔相对于石英吸盘本体的对称中心面对称设置；中间喷气孔位于靠近进气孔的内侧喷气组的一对内喷气孔的正中间；中间喷气孔的旋转中心轴位于对称中心面上；内喷气孔、外喷气孔和中间喷气孔倾斜设置；外喷气孔自上而下逐渐远离对称中心面和进气孔；内喷气孔自上而下逐渐远离对称中心面且自上而下逐渐靠近进气孔；中间喷气孔自上而下逐渐靠近进气孔。本发明满足硅片转移的所有要求，实现硅片无损转移。
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公开(公告)号：CN116551481A
公开(公告)日：2023-08-08
申请号：CN202310613930.3
申请日：2023-05-25
申请人： 盛吉盛精密制造(绍兴)有限公司
摘要： 本发明公开了一种细长石英管的磨削方法及其加工设备，具体包括如下步骤：步骤S001，石英管安装：通过石蜡把石英管两端分别与两侧的金属顶尖粘连成一体；步骤S002，石英管外圆柱面加工：两侧的金属顶尖同步旋转带动石英管旋转，通过数控机床径向补偿控制第一刀具加工石英管的外圆柱面；步骤S003，石英管圆锥面加工：通过圆锥面加工设备对石英管进行圆锥面加工：首先圆锥面加工设备的竖直限位机构夹持住石英管接近圆锥面加工端的部分，此时保持石英管竖直设置并且圆锥面加工端朝上，然后圆锥面加工设备的磨削装置对石英管的圆锥面加工端进行圆锥面加工。本发明加工的石英管符合设计要求，提高了石英管的成品合格率和质量。
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公开(公告)号：CN113336417B
公开(公告)日：2022-12-23
申请号：CN202110561439.1
申请日：2021-05-22
申请人： 盛吉盛精密制造(绍兴)有限公司
摘要： 本发明涉及炼熔炉技术领域，具体为一种石英玻璃连熔炉，包括坩埚主体，所述坩埚主体的上端外表面中心位置开设有进料口，所述坩埚主体的下端外表面中心位置开设有出料口，所述坩埚主体的内部靠近出料口的位置活动连接有切刀，所述坩埚主体的环形外表面靠近下端的位置固定连接有固定板。本发明通过设置转动机构，使第一组进入模具的玻璃液有足够的冷却时间，且冷却时间内玻璃液不间断的进入到模具内，使该装置可继续进行生产，提高了该装置的工作效率，通过设置第二通槽与限位环相互贴合从而对模具进行限位，并通过卡槽与限位杆相互吻合对模具进行固定，方便对模具进行拆卸安装操作，提高了产品的生产质量。
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公开(公告)号：CN115156791A
公开(公告)日：2022-10-11
申请号：CN202210616113.9
申请日：2022-06-01
申请人： 盛吉盛精密制造(绍兴)有限公司
IPC分类号： B23K37/04
摘要： 本申请涉及一种半导体外延生长炉的支架制作方法及焊接工装，包括以下步骤：S1：将支撑杆悬挂在工装上；S2：将加工完成的支撑臂及定位杆绕支撑杆的轴线周向间隔固定装夹在支撑杆正下方的工装上；S3：校对支撑杆的垂直度以及支撑杆与三根支撑臂之间的同轴度；S4：校对后确定同轴度在公差允许范围内后，将支撑臂焊接到支撑杆上。本申请具有将支撑臂以及支撑杆通过焊接的方式连接，支撑杆和支撑臂在打磨加工时装夹较方便，且由于对支撑杆的上端进行夹持，焊接工人在焊接时无需将焊接设备举起对支撑杆的高处进行焊接，使得焊接工人在焊接时更加稳定，焊接后的成品支架质量更高的效果。
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公开(公告)号：CN113560985B
公开(公告)日：2021-12-14
申请号：CN202111132143.4
申请日：2021-09-27
申请人： 盛吉盛(宁波)半导体科技有限公司 , 盛吉盛精密制造(绍兴)有限公司
摘要： 本发明涉及半导体制造设备，公开了一种半导体石英部件可变径倒角机，包括机架、转动安装于机架上的旋转台，旋转台上开设有多个围绕旋转台中心分布且长度沿旋转台直径方向延伸的滑行槽，滑行槽长度方向的延长线相交于旋转台的转动中心，旋转台上安装有倒角块，倒角块之间分布于同一个圆上并在滑行槽内沿滑行槽的长度方向移动，且在旋转台上设置有用于调节倒角块之间相互距离的调节机构；本发明可调节式的倒角块能够根据待加工石英部件的尺寸变化调整相互之间的距离，从而适应不同尺寸石英部件的倒角需求；而联动机构能够实现倒角块之间的同步进、退，使倒角块之间不管如何调整位置均位于同一个圆上，从而使得石英部件的倒角更加精准。
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公开(公告)号：CN113522860B
公开(公告)日：2021-12-07
申请号：CN202111071443.6
申请日：2021-09-14
申请人： 盛吉盛(宁波)半导体科技有限公司 , 盛吉盛精密制造(绍兴)有限公司
摘要： 本发明涉及半导体加工设备，公开了一种半导体石英部件清洗设备，包括机架、转动安装于机架上且中心带有升降口的摆放台、设置于机架上且位于摆放台一侧的外管壁清洗装置以及升降设置于机架内且位于升降口下方的内管壁清洗装置，所述内管壁清洗装置包括升降台、安装于升降台上的顶喷头和侧喷头，所述顶喷头的出水方向朝向机架上方，所述侧喷头的出水方向朝向机架侧方，且所述侧喷头分布于顶喷头的两侧；本发明顶喷出水的冲洗方式能够让将石英部件上残留的脏污随水流被带走，从而大大提高石英部件的清洗效果，减少水渍的产生。
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公开(公告)号：CN118598486A
公开(公告)日：2024-09-06
申请号：CN202410716992.1
申请日：2024-06-04
申请人： 盛吉盛精密制造(绍兴)有限公司
IPC分类号： C03B23/207
摘要： 本申请涉及一种用于石英管的焊接设备，其包括用于石英管沿石英管轴线转动的转动台、外部焊接组件以及内部焊接组件，所述外部焊接组件设置于所述转动台上，所述内部焊接组件包括内部焊枪、支撑架以及两个转动辊，所述转动辊的长度方向平行于石英管的轴线方向，所述转动辊转动连接于所述支撑架上，所述转动辊抵接于石英管的内侧壁上，所述支撑架用于支撑所述内部焊枪。本申请具有提高石英管与进气管的焊接效果。
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