本发明公开了缓解臭氧催化氧化装置下游设备及管线腐蚀的方法及装置，涉及臭氧催化氧化技术领域。缓解臭氧催化氧化装置下游设备及管线腐蚀的方法，在将废水和臭氧进行催化氧化之后，在紫外照射的条件下继续进行反应，使气相中的臭氧被分解为氧气，而液相中的臭氧均被分解为羟基自由基和氧气，继续与水中的有机物反应，从而实现臭氧的深度脱除。废水经过处理之后，大分子难降解的有机物能够实现转化，且废水中几乎没有臭氧残留，大大缓解了下游设备及管线的臭氧腐蚀状况。