一种大面积光栅的制备方法
摘要:
本发明公开了一种大面积光栅的制备方法,包括:S1:搭建干涉曝光光路;S2:选定制备大面积光栅所需的光刻胶和基底材料,再依次进行匀胶和前烘步骤;S3:预设曝光时间并曝光;S4:预设显影时间并显影;S5:观察基底中心的光刻胶是否已经溶解完,如果是,则减小显影时间并再次执行步骤S2~S4,如果否,则继续执行步骤S6:S6:观察基底中心的光刻胶占空比是否已经达到光刻胶的极限分辨率,如果是,则继续执行步骤S7,如果否,则增加曝光时间并再次执行步骤S2~S5;S7:测量达到光刻胶的极限分辨率的面积,该面积为干涉曝光光路能够曝光得到的光栅的最大面积,并记录此时的曝光时间和显影时间。本发明降低了大面积光栅制造的成本。
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