发明授权
- 专利标题: 一种大面积光栅的制备方法
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申请号: CN202110782375.8申请日: 2021-07-12
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公开(公告)号: CN113514913B公开(公告)日: 2023-09-22
- 发明人: 周倩 , 倪凯 , 梁久久 , 王翀宇 , 陈垚鑫
- 申请人: 清华大学深圳国际研究生院
- 申请人地址: 广东省深圳市南山区西丽街道深圳大学城清华校区A栋二楼
- 专利权人: 清华大学深圳国际研究生院
- 当前专利权人: 清华大学深圳国际研究生院
- 当前专利权人地址: 广东省深圳市南山区西丽街道深圳大学城清华校区A栋二楼
- 代理机构: 深圳新创友知识产权代理有限公司
- 代理商 方艳平
- 主分类号: G02B5/18
- IPC分类号: G02B5/18
摘要:
本发明公开了一种大面积光栅的制备方法,包括:S1:搭建干涉曝光光路;S2:选定制备大面积光栅所需的光刻胶和基底材料,再依次进行匀胶和前烘步骤;S3:预设曝光时间并曝光;S4:预设显影时间并显影;S5:观察基底中心的光刻胶是否已经溶解完,如果是,则减小显影时间并再次执行步骤S2~S4,如果否,则继续执行步骤S6:S6:观察基底中心的光刻胶占空比是否已经达到光刻胶的极限分辨率,如果是,则继续执行步骤S7,如果否,则增加曝光时间并再次执行步骤S2~S5;S7:测量达到光刻胶的极限分辨率的面积,该面积为干涉曝光光路能够曝光得到的光栅的最大面积,并记录此时的曝光时间和显影时间。本发明降低了大面积光栅制造的成本。
公开/授权文献
- CN113514913A 一种大面积光栅的制备方法 公开/授权日:2021-10-19