发明公开
- 专利标题: 分析装置
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申请号: CN201980093517.0申请日: 2019-08-13
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公开(公告)号: CN113518913A公开(公告)日: 2021-10-19
- 发明人: 石川丈宽
- 申请人: 株式会社岛津制作所
- 申请人地址: 日本京都府
- 专利权人: 株式会社岛津制作所
- 当前专利权人: 株式会社岛津制作所
- 当前专利权人地址: 日本京都府
- 代理机构: 北京林达刘知识产权代理事务所
- 代理商 刘新宇
- 优先权: 2019-039605 20190305 JP
- 国际申请: PCT/JP2019/031802 2019.08.13
- 国际公布: WO2020/179102 JA 2020.09.10
- 进入国家日期: 2021-09-02
- 主分类号: G01N23/2252
- IPC分类号: G01N23/2252 ; H01J37/24 ; H01J37/252
摘要:
带电粒子束照射装置构成为向试样照射带电粒子束并检测从试样释放的信号。第一处理部(10)构成为能够与第一输入设备(11)进行通信,根据来自第一输入设备(11)的信号,并基于带电粒子束照射装置的检测信号对试样进行分析。第二处理部(20)构成为能够与第二输入设备(21)及第一处理部(10)进行通信,根据带电粒子束照射装置的检测信号来生成试样的观察图像,并且根据来自第二输入设备(21)的信号控制带电粒子束照射装置。第二输入设备(21)包括指示设备。第二处理部(20)将针对指示设备的操作输入转换为对带电粒子束照射装置的控制信号。
公开/授权文献
- CN113518913B 分析装置 公开/授权日:2024-06-28