发明公开
- 专利标题： 一种锗片或锗锭的腐蚀装置和腐蚀方法
-
申请号： CN202110895660.0申请日： 2021-08-05
-
公开(公告)号： CN113529082A公开(公告)日： 2021-10-22
- 发明人: 牛晓东 , 赵青松 , 狄聚青 , 顾小英 , 朱刘
- 申请人： 清远先导材料有限公司
- 申请人地址： 广东省清远市高新区百嘉工业园27-9号
- 专利权人： 清远先导材料有限公司
- 当前专利权人： 清远先导材料有限公司
- 当前专利权人地址： 广东省清远市高新区百嘉工业园27-9号
- 代理机构： 北京集佳知识产权代理有限公司
- 代理商 王欢
- 主分类号： C23F1/08
- IPC分类号： C23F1/08 ; C23F1/40
摘要：
本发明提供了一种锗片或锗锭的腐蚀装置及腐蚀方法，腐蚀装置包括腐蚀筒体；所述腐蚀筒体内部设有垫板，所述垫板与所述腐蚀筒体的底部之间设有预设距离，所述预设距离大于0；所述垫板包括垫板本体及分布在所述垫板本体上的锥形凸起和孔；所述腐蚀筒体下方设有加热器。该装置设置锥形凸起，减少锗原料与腐蚀装置的接触面积，使得腐蚀彻底，腐蚀效果较好。锗料远离腐蚀筒体下方的加热器，受热均匀，减少裂纹的产生。