一种功率二极管器件，其元胞结构包括：n型轻掺杂浓度的漂移区，所述n型轻掺杂浓度的漂移区的上部平面相接触的设有阳极结构，所述n型轻掺杂浓度的漂移区的下部平面相接触的设有阴极结构，所述阳极结构由至少一个p型重掺杂浓度的阳极区和至少一个的p型中等掺杂浓度的槽型阳极区构成，所述阴极结构由至少一个n型重掺杂浓度的阴极区和至少一个p型重掺杂浓度的阴极区构成，所述p型重掺杂浓度的阴极区与所述n型重掺杂浓度的阴极区通过第一背面槽型介质区以及第二背面槽型介质区相互隔离。本发明与普通PiN功率二极管相比，本发明提供的功率二极管能够降低反向恢复电荷以及提高反向恢复软度，消除反向恢复过程中的电流和电压的震荡。