发明公开
- 专利标题: 金刚石圆片径向生长方法及装置
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申请号: CN202110895167.9申请日: 2021-08-05
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公开(公告)号: CN113584580A公开(公告)日: 2021-11-02
- 发明人: 王忠强 , 陶仁春 , 王琦 , 张国义 , 王新强
- 申请人: 北京大学东莞光电研究院
- 申请人地址: 广东省东莞市松山湖高新技术产业开发区沁园路17号
- 专利权人: 北京大学东莞光电研究院
- 当前专利权人: 北京大学东莞光电研究院
- 当前专利权人地址: 广东省东莞市松山湖高新技术产业开发区沁园路17号
- 代理机构: 东莞恒成知识产权代理事务所
- 代理商 潘婷婷
- 主分类号: C30B25/02
- IPC分类号: C30B25/02 ; C30B25/08 ; C30B25/12 ; C30B29/04 ; C23C16/458 ; C23C16/511
摘要:
本发明涉及晶体合成技术领域,尤指一种金刚石圆片径向生长方法及装置,该包括升降式旋转支架和晶圆夹持单元;升降式旋转支架包括升降杆装置、横架、距离调整组件、旋转驱动组件和至少两组平行设置的旋转轴;而该生长方法通过晶圆夹持单元将多片金刚石圆片同轴夹持成柱状,然后安置在升降式旋转支架,升降式旋转支架带动金刚石圆片转动、升降及间隙控制作用下,金刚石圆片侧面暴露在工艺气体激发后的等离子体中,使得金刚石圆片只沿着侧面径向旋转生长,从而生长出大直径金刚石圆片,通过晶圆夹持单元保持金刚石圆片的厚度,通过旋转轴的研磨保持金刚石圆片的圆度。
公开/授权文献
- CN113584580B 金刚石圆片径向生长方法及装置 公开/授权日:2022-08-19
IPC分类: