本发明属于虚拟仿真技术领域，公开了一种半导体氧化物气体传感器虚拟仿真实验系统及方法，所述半导体氧化物气体传感器虚拟仿真实验系统，包括注册系统、学生学习系统以及后台管理系统；注册系统，用于实现用户的身份注册功能，为用户提供用户名和密码；学生学习系统，包括学习资料模块、实验模块、结果提交模块、成绩获取模块和交流互动模块；后台管理系统，包括栏目管理模块、内容管理模块、数据统计模块、实验结果获取模块和交流互动模块。本发明以学生为主体，以能力培养的目标内容为中心，能够提高学生实验与实践的积极性，提升学生解决复杂化学实验以及微电子加工技术的实践能力，更好的为我国微电子领域输送科研型、创新型和工程型人才。