发明公开
- 专利标题: 一种旋喷一体化涂层的制备方法及装置
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申请号: CN202110835643.8申请日: 2021-07-23
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公开(公告)号: CN113604770A公开(公告)日: 2021-11-05
- 发明人: 张伟 , 张鑫宇 , 郑培渊 , 罗江 , 熊佳淼 , 陈浩 , 刘麟 , 李京 , 王志坚 , 席仁强
- 申请人: 常州大学
- 申请人地址: 江苏省常州市武进区滆湖路1号
- 专利权人: 常州大学
- 当前专利权人: 常州大学
- 当前专利权人地址: 江苏省常州市武进区滆湖路1号
- 代理机构: 南京经纬专利商标代理有限公司
- 代理商 王姗
- 主分类号: C23C4/12
- IPC分类号: C23C4/12 ; C23C4/02
摘要:
一种旋喷一体化涂层的制备方法及装置,属于涂层制备技术领域。包括电源及控制系统和电机,还包括靶材、电极和基体,靶材为圆盘状,电机输出端与靶材中心轴连接,用于驱动靶材做高速旋转,靶材与电源及控制系统中电源的一极连接,电极和基体与电源的另一极连接,电极为板式电极,电极斜设于靶材的切向且与靶材之间的距离可调,电极低端指向靶材,电源及控制系统中控制系统分别与靶材、电极和基体连接,用于控制靶材、电极和基体的移动,电源与电机和控制系统电连接。本发明所述装置和方法,可以一次性完成基体材料表面的粗化、涂层的制备、厚度控制和表面质量改善,适用于所有导电材料涂层的制备,操作简单、可靠、成本低。
公开/授权文献
- CN113604770B 一种旋喷一体化涂层的制备方法及装置 公开/授权日:2022-08-09
IPC分类: