发明授权
- 专利标题: 一种硅棒切割装置
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申请号: CN202110957221.8申请日: 2021-08-19
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公开(公告)号: CN113618938B公开(公告)日: 2023-08-15
- 发明人: 刘绪军 , 陈明一 , 王立 , 薛俊兵
- 申请人: 青岛高测科技股份有限公司
- 申请人地址: 山东省青岛市高新技术产业开发区火炬支路66号
- 专利权人: 青岛高测科技股份有限公司
- 当前专利权人: 青岛高测科技股份有限公司
- 当前专利权人地址: 山东省青岛市高新技术产业开发区火炬支路66号
- 代理机构: 北京科慧致远知识产权代理有限公司
- 代理商 王乾旭; 赵红凯
- 主分类号: B28D5/00
- IPC分类号: B28D5/00 ; B28D5/04
摘要:
本申请实施例提供了一种硅棒切割装置,包括:机座,所述机座是刚性的机座;承载装置,安装于所述机座,用于固定以平放方式放置的硅棒,所述承载装置用于承载硅棒位置的形状与硅棒外表面的形状相配合;线切割装置,安装于所述机座,所述线切割装置的切割线竖向设置,且所述承载装置和所述线切割装置能够相对做直线运动;其中,在所述承载装置和所述线切割装置相对直线运动过程中,所述线切割装置的切割线用于沿硅棒的长度方向切割。本申请实施例解决了传统的硅棒切割装置仅能对圆柱形的硅棒进行切割的技术问题。
公开/授权文献
- CN113618938A 一种硅棒切割装置 公开/授权日:2021-11-09