发明公开
CN113628996A 自动粘脱设备
审中-实审
- 专利标题： 自动粘脱设备
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申请号： CN202010887368.X申请日： 2020-08-28
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公开(公告)号： CN113628996A公开(公告)日： 2021-11-09
- 发明人: 陈明生
- 申请人： 特铨股份有限公司
- 申请人地址： 中国台湾新北市
- 专利权人： 特铨股份有限公司
- 当前专利权人： 特铨股份有限公司
- 当前专利权人地址： 中国台湾新北市
- 代理机构： 北京科龙寰宇知识产权代理有限责任公司
- 代理商 李林
- 优先权： 109115331 20200508 TW
- 主分类号： H01L21/683
- IPC分类号： H01L21/683
摘要：
本发明涉及一种自动粘脱设备，该粘脱设备包含有一供吸附一无线静电载盘的载板静电生成组，以及一供吸附一薄化基板的基板移载组，而该基板移载组可相对该载板静电生成组线性位移，使得该基板移载组可带动薄化基板压合于该载板静电生成组的无线静电载盘表面，如此，可作动该载板静电生成组使无线静电载盘生成静电电力场，以粘合该薄化基板，而能提升粘合效率，且可大幅降低粘合失败率，并减少生裂损或破片的发生。
IPC分类:
