公开(公告)号：CN108458972B

公开(公告)日：2021-06-29

申请号：CN201710404345.7

申请日：2017-06-01

申请人： 特铨股份有限公司

发明人： 陈明生

IPC分类号： G01N21/01 ,  G01N21/958 ,  G01B11/00

摘要： 本发明涉及一种光箱结构、一种应用该光箱结构的光学检测设备以及一种可供检测一板材的光学检测模块，其中，该光箱结构是于一机台上至少一光学模块，该多个光学模块包含有一同侧等角设置的一光箱结构及一影像传感器，其中光箱结构由一箱体构成，该箱体内设有一光源，又该箱体具有一对应光源的入射通道，且该箱体具有一与入射通道等角的反射通道，藉此，利用光箱结构的入射通道与反射通道，使受测物所反射的反射光线中只有受测表面的一次反射光线能被影像传感器接收成像，有效的滤除了非受测表面的二次反射光线或二次以上的反射光线，使上、下表面的影像不会相互干扰，可以有效检出各种污染物、尺寸及位置，从而提高检出率。

公开(公告)号：CN104576470B

公开(公告)日：2018-03-23

申请号：CN201310505928.0

申请日：2013-10-24

申请人： 陈明生 ,  刘宏伟 ,  郑友玄

发明人： 陈明生 ,  刘宏伟 ,  郑友玄

IPC分类号： H01L21/677 ,  G08C17/02

摘要： 本发明公开了一种无线传输模块及应用其的充气座以及充气柜，该模块包含有一微处理单元、一无线广播单元、一天线单元、一电源管理单元及一流量端口，且天线单元通过无线广播单元与微处理单元连接，又电源管理单元亦与微处理单元连接，以提供整个模块所需的电力，再者该流量端口可用于接收一充气座对应流量计的流量信号。借此，可利用本发明无线传输模块检知充气座的气体流量，并以无线方式传递数据，且通过本发明的模块化设计，可有效减少信号线的使用量，如此不仅可便于装配，且进一步可易于查检与维修，能有效降低安装、维护与维修的成本。

公开(公告)号：CN106841228A

公开(公告)日：2017-06-13

申请号：CN201510881240.1

申请日：2015-12-03

申请人： 特铨股份有限公司

发明人： 陈明生

IPC分类号： G01N21/94

CPC分类号： G01N21/94

摘要： 本发明涉及一种微尘检测机构，在一机体上设有一光学影像模块，且机体上设有一可供承载待检的光罩的载台模块，该载台模块位于光学影像模块下方、且可相对线性位移，本发明的特色在于机体于光学影像模块周缘设有至少二个相对等距、且等角的光源模块，所述的这些光源结构具有一可调整光源射出角度的激光发光件，使所述的这些激光发光件发出的光源能距焦于光学影像模块的检测范围内，且所述的这些激光光源组的光源接近或等于待检光罩的表面，如此，可提供有效的光源，以避免光源穿透透光件而产生影像干扰，且可供有效办视微尘的大小，能提升其检测的效率与准确率，减少不必要的误判状况，进一步可提高晶圆后续加工的合格率。

公开(公告)号：CN104238474A

公开(公告)日：2014-12-24

申请号：CN201310240897.0

申请日：2013-06-18

申请人： 陈明生

发明人： 陈明生

IPC分类号： G05B19/418

CPC分类号： Y02P90/02 ,  Y02P90/04 ,  Y02P90/265

摘要： 本发明涉及一种储存柜充气系统的无线监控系统，包含：一柜体，其贮放有至少一个晶圆或光罩的载具；至少一个充气模组，其分层设于柜体内部且分别具有一供载具摆置的基体，并于基体上分别设有至少一个充气阀件及至少一个排气阀件；一供气模组，其通过一导气管路与充气阀件连接；一排放模组，其通过一导气管路与排气阀件连接；至少一个流量监控模组，其分别设于充气模组上；一无线接收模组，其设于柜体内部；一处理模组，其通过连接线与无线接收模组连接。本发明由于充气模组的流量模组以无线方式传递数据，而无需使用信号线，如此不仅可便于装配，且由于其为模组化设计，故检修时无需进行信号线的查修，有效降低维护与维修的成本。

公开(公告)号：CN110379748B

公开(公告)日：2024-08-06

申请号：CN201810326272.9

申请日：2018-04-12

申请人： 特铨股份有限公司

发明人： 陈明生

IPC分类号： H01L21/673 ,  H01L21/677

摘要： 本发明涉及一种侧盖式盒体掀盖设备以及侧盖式盒体掀盖方法，用以开启一盒体，上述盒体包含一侧边开口及一选择性启闭侧边开口的侧盖，而该侧盖式盒体掀盖设备包含有一机座、一导引定位装置、一压掣限位装置及一掀盖装置，如此，利用导引定位装置来将盒体定位于掀盖位置，并进一步通过该压掣限位装置固定该盒体，的后利用该掀盖装置来掀开该盒体的侧盖，让该侧盖式盒体也能进行自动化掀盖与闭合，以提高设备的自动化程度，减少人工作业的失误，同时能因自动化操作，而减少人工作业的污染，确保制程空间的洁净度，故可大幅增进其实用性。

公开(公告)号：CN117470866A

公开(公告)日：2024-01-30

申请号：CN202210873715.2

申请日：2022-07-21

申请人： 特铨股份有限公司

发明人： 陈明生

IPC分类号： G01N21/94 ,  G01N21/956 ,  G01N21/01 ,  G01N21/13 ,  G03F7/20

摘要： 本发明涉及一种应用于光罩检查机的载台机构，其至少包含有一工作平台及一移动载座，其中该工作平台具有一长导孔，而该移动载座是设于前述工作平台的长导孔、且可沿着该长导孔的长轴线选择性移动，又该载板上具有一放置面，且该放置面具有复数相对围绕该可透视光罩容器轮廓空间的定位件，再者该放置面具有一检视透孔，又该放置面于不干涉该检视透孔的表面分设有呈三角排列的限位凸柱，借此，能让一可透视光罩容器能准确限位于该移动载座上，且在不打开该可透视光罩容器下，可直接检测收纳于可透视光罩容器内部光罩的上、下两侧表面，可能避免光罩在检测过程中产生新的缺陷，且能有效缩小体积及占积，进而降低购置与维护成本。

公开(公告)号：CN108458972A

公开(公告)日：2018-08-28

申请号：CN201710404345.7

申请日：2017-06-01

申请人： 特铨股份有限公司

发明人： 陈明生

IPC分类号： G01N21/01 ,  G01N21/958 ,  G01B11/00

CPC分类号： G01N21/8851 ,  G01N21/8916 ,  G01N21/9009 ,  G01N21/956 ,  G06T7/001

摘要： 本发明涉及一种光箱结构、一种应用该光箱结构的光学检测设备以及一种可供检测一板材的光学检测模块，其中，该光箱结构是于一机台上至少一光学模块，该多个光学模块包含有一同侧等角设置的一光箱结构及一影像传感器，其中光箱结构由一箱体构成，该箱体内设有一光源，又该箱体具有一对应光源的入射通道，且该箱体具有一与入射通道等角的反射通道，藉此，利用光箱结构的入射通道与反射通道，使受测物所反射的反射光线中只有受测表面的一次反射光线能被影像传感器接收成像，有效的滤除了非受测表面的二次反射光线或二次以上的反射光线，使上、下表面的影像不会相互干扰，可以有效检出各种污染物、尺寸及位置，从而提高检出率。

公开(公告)号：CN117470873A

公开(公告)日：2024-01-30

申请号：CN202210863476.2

申请日：2022-07-21

申请人： 特铨股份有限公司

发明人： 陈明生

IPC分类号： G01N21/954 ,  G01N21/956

摘要： 本发明公开一种光罩表面检查装置，其于一机柜体上设有一移动载台、一第一线性影像扫描器、一第二线性影像扫描器、一细缝光源模块、一区域图像扫描器及一运算控制单元，供对一收纳于一透视型光罩容器内部的一光罩进行检测，以能在不打开光罩容器下，直接检测收纳于光罩容器内部的光罩，可避免光罩在检测过程中产生新的缺陷，且能有效缩小体积及占积，进而降低购置与维护成本。

公开(公告)号：CN113628996A

公开(公告)日：2021-11-09

申请号：CN202010887368.X

申请日：2020-08-28

申请人： 特铨股份有限公司

发明人： 陈明生

IPC分类号： H01L21/683

摘要： 本发明涉及一种自动粘脱设备，该粘脱设备包含有一供吸附一无线静电载盘的载板静电生成组，以及一供吸附一薄化基板的基板移载组，而该基板移载组可相对该载板静电生成组线性位移，使得该基板移载组可带动薄化基板压合于该载板静电生成组的无线静电载盘表面，如此，可作动该载板静电生成组使无线静电载盘生成静电电力场，以粘合该薄化基板，而能提升粘合效率，且可大幅降低粘合失败率，并减少生裂损或破片的发生。

公开(公告)号：CN110379748A

公开(公告)日：2019-10-25

申请号：CN201810326272.9

申请日：2018-04-12

申请人： 特铨股份有限公司

发明人： 陈明生

IPC分类号： H01L21/673 ,  H01L21/677

摘要： 本发明涉及一种侧盖式盒体掀盖设备以及侧盖式盒体掀盖方法，用以开启一盒体，上述盒体包含一侧边开口及一选择性启闭侧边开口的侧盖，而该侧盖式盒体掀盖设备包含有一机座、一导引定位装置、一压掣限位装置及一掀盖装置，如此，利用导引定位装置来将盒体定位于掀盖位置，并进一步通过该压掣限位装置固定该盒体，的后利用该掀盖装置来掀开该盒体的侧盖，让该侧盖式盒体也能进行自动化掀盖与闭合，以提高设备的自动化程度，减少人工作业的失误，同时能因自动化操作，而减少人工作业的污染，确保制程空间的洁净度，故可大幅增进其实用性。