本发明涉及一种监测超快电子显微镜探测光斑位置的装置及方法，该装置包括飞秒探测激光脉冲、反射镜、激光聚焦透镜、分束镜、CCD相机及光学法兰窗口；飞秒探测激光脉冲由反射镜反射后，经激光聚焦透镜进行聚焦，聚焦激光入射到分束镜分成两束；经分束镜出射的一束聚焦激光根据分束比以一定角度入射到CCD相机中呈现光斑图像；经分束镜出射的另外一束聚焦激光作为探测激光脉冲从光学法兰窗口正入射到超快电子显微镜电子枪的光阴极灯丝尖端，激发灯丝产生探测光电子脉冲。本发明为快速准确得到探测激光光斑作用于灯丝尖端产生光电子探测脉冲的实时状态提供了新型便利的途径。