本发明公开了一种环保气体与固体材料相容性的评价方法，本发明通过对环保气体和固体材料进行热相容性实验，得到实验后的气体样品和固体样品；检测所述气体样品的气体组分来确定所述环保气体的分解程度，以作为第一评价结果；检测所述固体样品的表面特征参数来确定所述固体材料的腐蚀程度，以作为第二评价结果；分析所述环保气体在所述固体材料表面的吸附解离情况，并根据所述吸附解离情况，确定第三评价结果；通过所述第一评价结果、所述第二评价结果和所述第三评价结果判断所述环保气体与所述固体材料是否相容，能够对环保气体与固体材料的相容性进行系统地评价，提高相容性判断的准确度。