本发明公开光学薄膜缺陷视觉检测系统及方法。光学薄膜缺陷视觉检测系统及方法用于视觉检测薄膜平面的瑕疵缺陷。光学薄膜缺陷视觉检测系统包含有，摄影装置，其布置于所述薄膜平面上方，所述摄影装置在所述薄膜平面上界定出摄影扫描区；透镜部件，其布置于所述薄膜平面下方；照明光源，其布置于所述透镜部件下方并且所述照明光源处于所述透镜部件的焦平面位置，所述照明光源平行于所述摄影扫描区，所述照明光源、所述摄影扫描区及所述透镜部件具有共同的中心线；以及，暗场挡块，其形成于所述照明光源顶面并且所述暗场挡块处于所述照明光源的中段区域。本发明的有益效果在于：对划伤类瑕疵有明显的检出效果。