光波导元件及光波导器件
摘要:
在使用加工得薄的基板的光调制元件中,防止电连接时的基板破碎,从而防止连接不良、制造成品率下降。在具有形成有光波导和导体图案的光学基板和支承光学基板的支承基板的光波导元件中,导体图案包含作为进行电连接的范围而规定的至少一个电连接区域,光学基板在与电连接区域对应的部分具有以贯通光学基板的方式除去该光学基板的原材料而得到的基板除去部,电连接区域的至少一部分经由基板除去部形成在支承基板上。
公开/授权文献
0/0