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公开(公告)号：CN118830071A
公开(公告)日：2024-10-22
申请号：CN202280093023.4
申请日：2022-12-22
申请人： 住友大阪水泥股份有限公司
IPC分类号： H01L21/683 , H01L21/205 , H01L21/3065 , H02N13/00
摘要： 一种静电卡盘部件，其具有：基体，一个主表面为载置板状试样的载置面；及静电吸附用电极，设置于与载置面相反的一侧或基体的内部，在基体的与载置面连续的侧周面至少具有：第1曲面，其为在载置面的周缘部沿周向设置的凸曲面；及第2曲面，在与第1曲面不同的高度位置沿周向设置。
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公开(公告)号：CN118805247A
公开(公告)日：2024-10-18
申请号：CN202380024977.4
申请日：2023-03-15
申请人： 住友大阪水泥股份有限公司
IPC分类号： H01L21/683 , H02N13/00
摘要： 一种静电卡盘部件，其具备：第1板体、第2板体及第3板体，设置有搭载试样的载置面及位于与载置面相反的一侧的下表面，并且沿厚度方向依次层叠且彼此接合而成；第1电极层，位于第1板体与第2板体之间；供电部接合层，位于第2板体与第3板体之间；柱状的第1供电部，嵌入于第2板体；及柱状的第2供电部，嵌入于第3板体，所述第1供电部连接所述第1电极层与所述供电部接合层，所述第2供电部从所述供电部接合层向所述下表面侧延伸，所述第1电极层与所述第2供电部经由第1供电部及供电部接合层电连接。
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公开(公告)号：CN118805105A
公开(公告)日：2024-10-18
申请号：CN202280093341.0
申请日：2022-03-30
申请人： 住友大阪水泥股份有限公司
摘要： 本发明的目的在于提供一种减少在基板、加强块与光学部件接合的接合部产生的内部应力，并且抑制气泡在粘接剂中的残留的光波导元件。本发明的光波导元件具备基板（1）及加强块（3），该基板（1）形成有光波导（10），该加强块（3）沿着该基板（1）的配置有该光波导（10）的输入部或输出部的端面而配置在该基板（1）上，其特征在于，该光波导元件具有与该基板（1）和该加强块（3）的端面接合的光学部件（4），在该光学部件（4）的进行接合的面具有槽（CH1（IN）等），该槽（CH1（IN）等）配置在与该输入部或该输出部对应的部分的附近，该槽的一部分（CH1（OUT）等）到达至与所述进行接合的面相邻的侧面为止。
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公开(公告)号：CN118715477A
公开(公告)日：2024-09-27
申请号：CN202280092643.6
申请日：2022-03-31
申请人： 住友大阪水泥股份有限公司
IPC分类号： G02F1/01
摘要： 为了提供与以往的结构相比能够增大从成为热源的发热元件至散热部的传热路径的截面积，能够高效地进行发热元件的散热的光器件及使用光器件的光发送装置，光器件(2)具备包含光调制元件(15)的调制元件部(10)、发热元件(20)、安装发热元件(20)的发热元件底座(31)、在内部收容发热元件底座(31)的壳体(40)，发热元件底座(31)具有安装发热元件(20)的安装面和安装于壳体(40)的安装面，安装发热元件(20)的安装面的面积比安装于壳体(40)的安装面的面积小。
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公开(公告)号：CN118591747A
公开(公告)日：2024-09-03
申请号：CN202280091026.4
申请日：2022-03-31
申请人： 住友大阪水泥股份有限公司
摘要： 本发明的目的在于提供一种能够适当地设定光波导基板与加强构件之间的接合关系的光波导元件。一种光波导元件，具备光波导基板（1（11））和加强构件（2），该光波导基板（1（11））具备光波导（10），该加强构件（2）在该光波导的端部附近配置于该光波导的上侧，该光波导基板和该加强构件经由粘接层（AD）而接合，其特征在于，在该光波导基板与该加强构件之间以夹着该光波导的方式配置有多个结构体，第一结构体（ST1）中，在该结构体的上表面与该加强构件之间配置粘接层，并设定成该上表面的面积相对于该加强构件的下表面的面积成为规定比例以上，第二结构体（ST2）构成为将配置于所述第一结构体与该加强构件之间的粘接层的厚度设定为规定的范围。
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公开(公告)号：CN118575124A
公开(公告)日：2024-08-30
申请号：CN202280090842.3
申请日：2022-02-28
申请人： 住友大阪水泥股份有限公司
IPC分类号： G02F1/035
摘要： 本发明的目的在于提供一种能够适当地设定光波导基板与加强部件的位置关系的光波导元件。光波导元件具备光波导基板（11）和加强部件（2），该光波导基板（11）具备光波导（10），该加强部件（2）在该光波导的端部附近配置于该光波导的上侧，该光波导基板和该加强部件经由粘接层（3）而接合，其特征在于，在该光波导基板与该加强部件之间以夹着该光波导的方式配置有间隔件（SP1、SP2）。
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公开(公告)号：CN118355482A
公开(公告)日：2024-07-16
申请号：CN202280080329.6
申请日：2022-12-09
申请人： 住友大阪水泥股份有限公司
IPC分类号： H01L21/683 , H02N13/00 , C04B37/00
摘要： 一种静电卡盘部件，其具备：电介质基板，设置有搭载试样的载置面且将与载置面正交的方向设为厚度方向；及吸附电极，嵌入于电介质基板的内部，其中，在电介质基板的内部设置有沿载置面的平面方向延伸的气体流路，气体流路的内侧面具有：底面部，朝向与载置面相同的方向；顶面部，与底面部对置；及一对侧面部，连接底面部和顶面部，一对侧面部中的至少一个相对于厚度方向倾斜。
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公开(公告)号：CN117897805A
公开(公告)日：2024-04-16
申请号：CN202280056849.3
申请日：2022-11-07
申请人： 住友大阪水泥股份有限公司
IPC分类号： H01L21/683 , H02N13/00
摘要： 一种静电卡盘装置，其具备：静电卡盘板，具有设置有搭载试样的载置面的电介质基板及位于所述电介质基板的内部的吸附电极；以及基台，从所述载置面的相反的一侧支承所述静电卡盘板，在所述静电卡盘板中，设置有对所述载置面供给气体的第1贯穿孔，在所述第1贯穿孔中，插入有使所述气体通过的多孔体，在所述第1贯穿孔的内周面与所述多孔体的外周面之间，设置有将所述内周面和所述外周面相互粘接的第1粘接层，所述第1粘接层的厚度尺寸至少在从所述载置面起到0.1mm为止的区域中为0mm以上且0.15mm以下。
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公开(公告)号：CN112514046B
公开(公告)日：2024-02-27
申请号：CN201980049649.3
申请日：2019-08-02
申请人： 住友大阪水泥股份有限公司
IPC分类号： H01L21/683 , H01L21/3065
摘要： 一种静电卡盘装置，具备设置有载置面的载置台、聚焦环及冷却机构，在载置台的保持部设置包围其周围的圆环状的槽部和向槽部的底面开口的贯穿孔，在保持部中，槽部的宽度方向两侧的上表面为与聚焦环接触并保持的保持面，保持面由槽部内周侧的内周面和比槽部更靠外周侧的外周面构成，保持面满足：条件(i)，保持面为在厚度方向的截面中连接与保持面的最内周对应的第1点和与保持面的最外周对应的第2点的直线从所述第1点向所述第2点具有正的斜率或负的斜率的形状，且0≤|在保持面的厚度方向的截面中与最内周对应的第1点的高度‑与最外周对应的第2点的高度|≤10μm；条件(ii)，内周面及外周面的泄漏面积小于0.7mm2。
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公开(公告)号：CN112639587B
公开(公告)日：2024-01-16
申请号：CN201980057267.5
申请日：2019-07-03
申请人： 住友大阪水泥股份有限公司
摘要： 在光调制器中，抑制由于热源靠近配置而引起的特性变动、长期可靠性的下降。光调制器具备由光波导构成的光调制元件及收容光调制元件的壳体，壳体具有：底面壁，俯视观察时为四边形；第一长边壁和第二长边壁，与底面壁的彼此相对的两条边相连；以及第一短边壁和第二短边壁，长度比第一及第二长边壁短，并与底面壁的彼此相对的另两条边相连，第二长边壁的平均厚度为第一长边壁的平均厚度以上，第一短边壁及第二短边壁中的至少一个比第一长边壁的平均厚度薄，光调制元件固定于底座部，该底座部配置于底面壁的一部分，在底面壁的配置有底座部的部分以外的部分设置有高热阻部。
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