- 专利标题： 用于在处理具有50nm或更小的线距尺寸的图案化材料时避免图案塌陷的包含氨活化硅氧烷的组合物
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申请号： CN202080027760.5申请日： 2020-03-27
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公开(公告)号： CN113711130A公开(公告)日： 2021-11-26
- 发明人: 高齐岳 , 沈美卿 , 魏圣轩 , D·勒夫勒 , A·克里普 , M·布里尔 , S·奇霍尼 , F·皮龙 , N·B·海涅
- 申请人： 巴斯夫欧洲公司
- 申请人地址： 德国莱茵河畔路德维希港
- 专利权人： 巴斯夫欧洲公司
- 当前专利权人： 巴斯夫欧洲公司
- 当前专利权人地址： 德国莱茵河畔路德维希港
- 代理机构： 北京市中咨律师事务所
- 代理商 肖威; 刘金辉
- 优先权： 19168153.5 20190409 EP
- 国际申请： PCT/EP2020/058699 2020.03.27
- 国际公布： WO2020/207824 EN 2020.10.15
- 进入国家日期： 2021-09-29
- 主分类号： G03F7/40
- IPC分类号： G03F7/40 ; C11D11/00
摘要：
一种非水性组合物，其包含：(a)有机质子溶剂，(b)氨，和(c)至少一种式I或II的添加剂，其中：R1为H；R2选自H、C1‑C10烷基、C1‑C10烷氧基、C6‑C10芳基和C6‑C10芳氧基；R3选自R2；R4选自C1‑C10烷基、C1‑C10烷氧基、C6‑C10芳基和C6‑C10芳氧基；R10、R12独立地选自C1‑C10烷基和C1‑C10烷氧基；m为1、2或3；n为0或1‑100的整数。