Invention Publication
- Patent Title: 检查用连接装置
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Application No.: CN202080032342.5Application Date: 2020-04-03
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Publication No.: CN113767460APublication Date: 2021-12-07
- Inventor: 佐藤实
- Applicant: 日本麦可罗尼克斯股份有限公司
- Applicant Address: 日本东京都
- Assignee: 日本麦可罗尼克斯股份有限公司
- Current Assignee: 日本麦可罗尼克斯股份有限公司
- Current Assignee Address: 日本东京都
- Agency: 北京林达刘知识产权代理事务所
- Agent 刘新宇; 张会华
- Priority: 2019-088371 20190508 JP
- International Application: PCT/JP2020/015331 2020.04.03
- International Announcement: WO2020/226009 JA 2020.11.12
- Date entered country: 2021-10-29
- Main IPC: H01L21/66
- IPC: H01L21/66 ; G01R1/067 ; G01R1/073 ; G01R31/26
Abstract:
检查用连接装置包括：探针头(30)，该探针头(30)以电连接件(10)的顶端部和光连接件(20)的顶端部分别在该探针头(30)的下表面暴露的状态保持该电连接件(10)和光连接件(20)；以及转换器(40)，在该转换器(40)的内部配置有连接布线(41)并且贯穿有光布线(42)。电连接件(10)的基端部和光连接件(20)的基端部分别在探针头(30)的上表面暴露，与电连接件(10)的基端部电连接的连接布线(41)的一侧的端部和与光连接件(20)的基端部光学连接的光布线(42)的连接端配置于转换器(40)的下表面。探针头(30)的下表面处的电连接件(10)的顶端部和光连接件(20)的顶端部的位置关系与半导体元件的电信号端子和光信号端子的位置关系相对应。
Public/Granted literature
- CN113767460B 检查用连接装置 Public/Granted day:2023-10-20
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IPC分类:
