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公开(公告)号：CN113767460A
公开(公告)日：2021-12-07
申请号：CN202080032342.5
申请日：2020-04-03
Applicant: 日本麦可罗尼克斯股份有限公司
Inventor： 佐藤实
Abstract: 检查用连接装置包括：探针头(30)，该探针头(30)以电连接件(10)的顶端部和光连接件(20)的顶端部分别在该探针头(30)的下表面暴露的状态保持该电连接件(10)和光连接件(20)；以及转换器(40)，在该转换器(40)的内部配置有连接布线(41)并且贯穿有光布线(42)。电连接件(10)的基端部和光连接件(20)的基端部分别在探针头(30)的上表面暴露，与电连接件(10)的基端部电连接的连接布线(41)的一侧的端部和与光连接件(20)的基端部光学连接的光布线(42)的连接端配置于转换器(40)的下表面。探针头(30)的下表面处的电连接件(10)的顶端部和光连接件(20)的顶端部的位置关系与半导体元件的电信号端子和光信号端子的位置关系相对应。
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公开(公告)号：CN114062881A
公开(公告)日：2022-02-18
申请号：CN202110881944.4
申请日：2021-08-02
Applicant: 日本麦可罗尼克斯股份有限公司
Inventor： 佐藤实
Abstract: 本发明提供光探针的更换和定位容易的检查用连接装置及其组装方法。检查用连接装置包括：光探针(100)；以及探针头(1)，其具有多个引导板，在该多个引导板分别形成有供光探针(100)贯穿的贯通孔，且该多个引导板沿着贯通孔的中心轴线方向互相分离地配置。探针头(1)具有：第1引导板(21)；以及第2引导板(22)，其设置为，在光探针(100)贯穿了贯通孔的状态下，沿着贯通孔的半径方向相对于第1引导板(21)相对地移动自如。探针头(1)在第1引导板(21)的贯通孔的中心轴线的位置和第2引导板(22)的贯通孔的中心轴线的位置沿着半径方向错开的状态下，利用第1引导板(21)和第2引导板(22)各自的贯通孔的内壁面夹持光探针(100)。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN113711341A
公开(公告)日：2021-11-26
申请号：CN202080028197.3
申请日：2020-04-03
Applicant: 日本麦可罗尼克斯股份有限公司
Inventor： 佐藤实
Abstract: 检查用连接装置包括：探针头(30)，该探针头(30)以电连接件(10)的顶端部和光连接件(20)的顶端部分别在该探针头(30)的下表面暴露的状态保持该电连接件(10)和光连接件(20)，电连接件(10)的基端部在该探针头(30)的上表面暴露，且光连接件(20)固定于该探针头(30)；以及转换器(40)，在该转换器(40)的内部配置有连接布线(41)，与电连接件(10)的在探针头(30)的上表面暴露的基端部电连接的连接布线(41)的一侧的端部配置于该转换器(40)的下表面，且光连接件(20)滑动自如地贯穿该转换器(40)。探针头(30)的下表面处的电连接件(10)的顶端部和光连接件(20)的顶端部的位置关系与半导体元件的电信号端子和光信号端子的位置关系相对应。光连接件(20)连续地贯穿探针头(30)和转换器(40)。
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公开(公告)号：CN112612082A
公开(公告)日：2021-04-06
申请号：CN202011055158.0
申请日：2020-09-29
Applicant: 日本麦可罗尼克斯股份有限公司
Abstract: 本发明提供一种光探针、光探针阵列、检查系统以及检查方法，能够抑制光半导体元件的检查时间的增加。光探针(10)接收从被检查体(200)输出的光信号(L)。光探针(10)具有由芯部(111)和配置于芯部(111)的外周的包层部(112)构成的光波导(11)，光波导(11)的射入光信号(L)的入射面(100)为曲率半径(R)固定的凸球面。
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公开(公告)号：CN113767460B
公开(公告)日：2023-10-20
申请号：CN202080032342.5
申请日：2020-04-03
Applicant: 日本麦可罗尼克斯股份有限公司
Inventor： 佐藤实
Abstract: 检查用连接装置包括：探针头(30)，该探针头(30)以电连接件(10)的顶端部和光连接件(20)的顶端部分别在该探针头(30)的下表面暴露的状态保持该电连接件(10)和光连接件(20)；以及转换器(40)，在该转换器(40)的内部配置有连接布线(41)并且贯穿有光布线(42)。电连接件(10)的基端部和光连接件(20)的基端部分别在探针头(30)的上表面暴露，与电连接件(10)的基端部电连接的连接布线(41)的一侧的端部和与光连接件(20)的基端部光学连接的光布线(42)的连接端配置于转换器(40)的下表面。探针头(30)的下表面处的电连接件(10)的顶端部和光连接件(20)的顶端部的位置关系与半导体元件的电信号端子和光信号端子的位置关系相对应。
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公开(公告)号：CN112612082B
公开(公告)日：2023-08-29
申请号：CN202011055158.0
申请日：2020-09-29
Applicant: 日本麦可罗尼克斯股份有限公司
Abstract: 本发明提供一种光探针、光探针阵列、检查系统以及检查方法，能够抑制光半导体元件的检查时间的增加。光探针(10)接收从被检查体(200)输出的光信号(L)。光探针(10)具有由芯部(111)和配置于芯部(111)的外周的包层部(112)构成的光波导(11)，光波导(11)的射入光信号(L)的入射面(100)为曲率半径(R)固定的凸球面。
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公开(公告)号：CN113711341B
公开(公告)日：2023-08-22
申请号：CN202080028197.3
申请日：2020-04-03
Applicant: 日本麦可罗尼克斯股份有限公司
Inventor： 佐藤实
Abstract: 检查用连接装置包括：探针头(30)，该探针头(30)以电连接件(10)的顶端部和光连接件(20)的顶端部分别在该探针头(30)的下表面暴露的状态保持该电连接件(10)和光连接件(20)，电连接件(10)的基端部在该探针头(30)的上表面暴露，且光连接件(20)固定于该探针头(30)；以及转换器(40)，在该转换器(40)的内部配置有连接布线(41)，与电连接件(10)的在探针头(30)的上表面暴露的基端部电连接的连接布线(41)的一侧的端部配置于该转换器(40)的下表面，且光连接件(20)滑动自如地贯穿该转换器(40)。探针头(30)的下表面处的电连接件(10)的顶端部和光连接件(20)的顶端部的位置关系与半导体元件的电信号端子和光信号端子的位置关系相对应。光连接件(20)连续地贯穿探针头(30)和转换器(40)。
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