一种基于X切铌酸锂薄膜的偏振无关反射式光滤波器
摘要:
本发明公开了一种基于X切铌酸锂薄膜的偏振无关反射式光滤波器,属于集成光器件技术领域。包括:衬底,其材料为硅;埋氧层,其材料为二氧化硅;铌酸锂脊形波导,位于埋氧层之上;周期性二氧化硅包层,覆盖于脊波导之上。本发明在X切铌酸锂薄膜上加工被二氧化硅包层周期性覆盖的布拉格光栅结构,利用铌酸锂的双折射特性实现偏振无关的反射式光滤波器。其中周期性二氧化硅包层制备步骤具有较大的工艺容差,器件制备仅需两次光刻、无需套刻,制备工艺简单。该器件可以与基于薄膜铌酸锂材料的调制器、谐振器等结构单片集成,构成在光信号处理芯片,在微波光子学和光通讯等领域有较好的应用前景。
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