发明公开
- 专利标题: 基于氮化物晶体管的发光器件及集成式MicroLED微显示器件
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申请号: CN202111093965.6申请日: 2021-09-17
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公开(公告)号: CN113782560A公开(公告)日: 2021-12-10
- 发明人: 郭伟杰 , 郑曦 , 高玉琳 , 陈忠 , 吕毅军 , 郑振耀
- 申请人: 厦门大学
- 申请人地址: 福建省厦门市思明南路422号
- 专利权人: 厦门大学
- 当前专利权人: 厦门大学
- 当前专利权人地址: 福建省厦门市思明南路422号
- 代理机构: 厦门市首创君合专利事务所有限公司
- 代理商 连耀忠
- 主分类号: H01L27/15
- IPC分类号: H01L27/15 ; H01L33/46
摘要:
本发明公开了一种基于氮化物晶体管的发光器件及集成式MicroLED微显示器件,采用在衬底的第一表面上集成驱动晶体管和LED芯片,首先在衬底的第一表面生长驱动晶体管的外延层,再间隔地蚀刻驱动晶体管的外延层以裸露出衬底的第一表面,在裸露出的衬底的第一表面上再二次外延生长LED芯片的外延结构,因此在衬底的同一个表面上同时集成了驱动晶体管和LED芯片,可以提高驱动效率,并有较大版图布置面积。LED芯片采用二次外延生长的方式对性能和工艺更加良好,LED芯片的光可以从衬底的第二表面出射,中间没有其他层的吸收,光损耗小。
公开/授权文献
- CN113782560B 基于氮化物晶体管的发光器件及集成式MicroLED微显示器件 公开/授权日:2023-08-11