基于氮化物晶体管的发光器件及集成式MicroLED微显示器件
摘要:
本发明公开了一种基于氮化物晶体管的发光器件及集成式MicroLED微显示器件,采用在衬底的第一表面上集成驱动晶体管和LED芯片,首先在衬底的第一表面生长驱动晶体管的外延层,再间隔地蚀刻驱动晶体管的外延层以裸露出衬底的第一表面,在裸露出的衬底的第一表面上再二次外延生长LED芯片的外延结构,因此在衬底的同一个表面上同时集成了驱动晶体管和LED芯片,可以提高驱动效率,并有较大版图布置面积。LED芯片采用二次外延生长的方式对性能和工艺更加良好,LED芯片的光可以从衬底的第二表面出射,中间没有其他层的吸收,光损耗小。
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