一种微型压电厚膜振子
摘要:
本发明提供了一种微型压电厚膜振子,包括压电陶瓷厚膜、下电极、弹性体、分区上电极。该振子的结构根据功能可分为环形和直线形,通过给压电陶瓷施加交变电压激励出振子的驱动模态,使振子表面形成波形,实现动子不同的运动。压电陶瓷厚度介于薄膜和厚膜之间,兼具块材与薄膜的优点,驱动力大、驱动电压低。本发明通过电流体喷印技术直接将压电陶瓷厚膜喷印至下电极表面,通过共烧技术使弹性体、下电极和压电陶瓷厚膜形成无界面的整体,实现压电陶瓷厚膜和弹性体的一体化体系,显著提高了压电陶瓷和弹性体的结合强度,并提高了振子的驱动性能和长期可靠性,实现了微型化、大驱动力的压电振子制备,能满足狭小空间驱动要求。
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