发明授权
- 专利标题: 一种微型压电厚膜振子
-
申请号: CN202110905446.9申请日: 2021-08-09
-
公开(公告)号: CN113783469B公开(公告)日: 2023-12-22
- 发明人: 王大志 , 宗浩然 , 赵奎鹏 , 袁钰恒 , 李岩 , 蒋朝阳 , 王伦翔
- 申请人: 大连理工大学 , 大连理工大学宁波研究院
- 申请人地址: 辽宁省大连市甘井子区凌工路2号
- 专利权人: 大连理工大学,大连理工大学宁波研究院
- 当前专利权人: 大连理工大学,大连理工大学宁波研究院
- 当前专利权人地址: 辽宁省大连市甘井子区凌工路2号
- 代理机构: 辽宁鸿文知识产权代理有限公司
- 代理商 苗青
- 主分类号: H02N2/12
- IPC分类号: H02N2/12 ; H02N2/04
摘要:
本发明提供了一种微型压电厚膜振子,包括压电陶瓷厚膜、下电极、弹性体、分区上电极。该振子的结构根据功能可分为环形和直线形,通过给压电陶瓷施加交变电压激励出振子的驱动模态,使振子表面形成波形,实现动子不同的运动。压电陶瓷厚度介于薄膜和厚膜之间,兼具块材与薄膜的优点,驱动力大、驱动电压低。本发明通过电流体喷印技术直接将压电陶瓷厚膜喷印至下电极表面,通过共烧技术使弹性体、下电极和压电陶瓷厚膜形成无界面的整体,实现压电陶瓷厚膜和弹性体的一体化体系,显著提高了压电陶瓷和弹性体的结合强度,并提高了振子的驱动性能和长期可靠性,实现了微型化、大驱动力的压电振子制备,能满足狭小空间驱动要求。
公开/授权文献
- CN113783469A 一种微型压电厚膜振子 公开/授权日:2021-12-10